판매용 중고 RUDOLPH JetStep A2300 RDL #9356969

RUDOLPH JetStep A2300 RDL
ID: 9356969
Stepper.
RUDOLPH JetStep A2300 RDL Wafer Stepper는 광학 도량형 및 검사 솔루션을 전문으로하는 고급 이미징 회사 인 RUDOLPH Technologies의 최신 모델입니다. 이 스테퍼는 최첨단 반도체 연구에서 고급 nanopatterning 응용 분야에 이상적인 풀 필드 스테퍼입니다. 이 웨이퍼 스테퍼에는 높은 수치 조리개 (NA) 렌즈가 장착되어 있으며 활성 광학 정렬, 4 방향 광학 스티칭, 빔 스플리터 및 독점적 인 'Apochromatic' 조명 장비와 같은 다양한 기술이 포함되어 있습니다. 이러한 첨단 기술 조합을 통해 A2300은 탁월한 수준의 정확도, 해상도, 반복성으로 성능을 발휘할 수 있습니다. 또한 A2300에는 통합 자동 미리보기 및 자동 노출 수정, 자동 스테이지 인덱싱, REC (Remote Ethernet Control) 등 다양한 혁신적인 기능이 제공됩니다. 또한, 이 시스템에는 안정적인 작동을위한 온도 조절 챔버 및 진동 격리 장치와 고급 이미지 분석 및 데이터 로깅을위한 RTDAS (Real-Time Data Acquisition Machine) 가 포함되어 있습니다. 성능 측면에서 A2300의 NA (0.7) 는 중요한 반 도체 응용 프로그램에서 1.2nm의 해상도와 2nm의 최소 기능 크기를 제공합니다. 또한 시간당 최대 400 개의 스캔 필드가 지원되므로 초고속 (ultra-high) 처리량 생산에 적합합니다. 빠른 비디오 이미지 획득률 (fast video image acquisition rate) 을 자랑하는 A2300 은 다양한 프로세스 제어 및 자동화 애플리케이션에서도 사용할 수 있습니다. 또한, 웨이퍼 스테퍼는 기존 운영 시스템에 쉽게 통합되도록 설계되었습니다. 여기에는 바람을 설정하고 시운전하기위한 혁신적인 '원 터치 교정 (One Touch Calibration)' 기능이 포함되어 있으며 여러 개의 I/O 프로토콜을 통해 모든 표준 반도체 도량형 도구와 호환됩니다. 또한, 통합 스크립팅 언어와 강력한 자동화 기능 (Automation Feature) 을 통해 가장 복잡한 운영 환경에서도 최적의 선택이 가능합니다. 결론적으로, JetStep A2300 RDL Wafer Stepper는 반도체 연구 및 생산을위한 고급 선택으로, 뛰어난 수준의 정확성, 해상도 및 반복 성을 제공합니다. 이 자산은 다양한 혁신적인 기술과 기능을 갖추고 있어 다양한 애플리케이션/자동화 (application/automation) 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 하나의 터치 보정, 강력한 자동화 기능, 빠른 데이터 획득률을 자랑하는 A2300 (A2300) 은 고급 구성 요구에 적합한 솔루션입니다.
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