판매용 중고 PRECISION / GCA 19 #9081984

PRECISION/GCA 19는 고급 자동화 반도체 리소그래피 웨이퍼 스테핑 장비입니다. 이 장비는 한 시스템에서 photolithography, mask alignment 및 automated wafer 처리를 결합한 ICs (production line of integrated circuits) 의 일부입니다. GCA 19의 큰 프레임의 높이는 약 116cm, 너비는 203cm, 깊이는 41cm입니다. 웨이퍼 정렬에 사용되는 스테이지에 대한 5 축 동작 (X, Y 및 Z 축 및 2 개의 세타 축) 이 있습니다. 두 세타 축 (theta-axes) 은 장치에 웨이퍼 평면을 회전하고 기울이고 다른 각도로 이동하여 자동 정렬을 할 수 있는 기능을 제공합니다. 기계 는 "마스크 '에서 반사 된 빛 을 사용 하여" 웨이퍼' 위 로 향하여 정렬 과 리소그래피 를 만들어 낸다. 3 점 기하학적 피쳐 기반 정렬 도구와 특허를받은 '평면 회전 (plane rotation)' 기술을 사용하여 2 개의 각도 기울기 및 2 개의 측면 회전 축으로 웨이퍼를 정확하게 정렬하고 배치 할 수 있습니다. 3 점 기하학적 자산은 패턴을 정확하게 정렬하고 다양한 웨이퍼를 정확하게 오버레이할 수 있습니다. 또한 PRECISION 19는 내부적으로 냉각 된 아르곤/플루오 라이저 (argon/fluoride laser) 를 조명에 매우 짧은 펄스 길이로 사용하여 재료를 가열하거나 손상시킬 위험없이 웨이퍼 표면을 최대 노출 할 수 있습니다. "레이저 '모형 은 또한 여러 가지 파장 범위 에서" 웨이퍼' 를 노출 시킬 수 있어서 여러 가지 다른 재료 와 층 을 더 잘 처리 할 수 있다. 이 장비에는 고속 (High-Speed) 정렬 범위가 내장되어 있어 빠르고 정확한 작동이 가능한 자동화된 시스템이 제공됩니다. 또한, 이 장치는 여러 센서를 사용하여 레이저의 노출 수준을 모니터링하고 조정하며, 사용자 입력용 터치 스크린 인터페이스 (touch-screen interface) 가 큽니다. 이를 통해 운영자는 다양한 생산 단계를 제어하고 신뢰할 수있는 결과를 얻을 수 있습니다. 요컨대, 19 개는 안정적이고 정확한 생산 라인 웨이퍼 스테핑 머신으로, 빛과 레이저 기기를 사용하여 정확한 정렬 및 석판화 웨이퍼입니다. 내장, 고속 정렬 범위 및 내부 냉각 도구와 같은 기능을 갖춘 PRECISION/GCA 19는 빠르고 정확하게 생산할 수 있도록 설계되었습니다.