판매용 중고 OBDUCAT NIL-60-SS-UV-VC #9180829

OBDUCAT NIL-60-SS-UV-VC는 고정밀 리소그래피 응용 프로그램을위한 고도로 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 다양한 UV 노출 응용 프로그램에서 우수한 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 최첨단 사용자 제어 논리 시스템을 갖춘 자동 기계 기반 스테퍼입니다. NIL-60-SS-UV-VC는 기계의 구성 요소를 수용하는 기본 바디 엔클로저와 통합 터치 스크린 인터페이스로 구성됩니다. 여기에는 전동식 스테퍼 (Motorized Stepper), 두 컴포넌트의 상대 위치를 제어하기위한 기계 장치가 포함됩니다. 최적의 결과를 얻을 수 있는 속도, 방향, 단계를 제어하는 기능과 더불어 정확하고 반복 가능한 성능을 제공하도록 설계되었습니다 (영문). 스테퍼는 응용 프로그램에 일치하여 속도, 가속, 선형성, 백래시, 필요한 정밀도를 결정할 수 있습니다. 노출이 수행되는 웨이퍼는 닫힌 루프 제어 테이블 플랫폼 (closed loop-controlled table platform) 에 배치되어 정확한 위치 제어 및 안정적인 동작 제어를 보장합니다. 이 플랫폼에는 수동 웨이퍼 잠금 장치 (manual wafer lock) 와 더 나은 정확성을 위한 피드백 (feedback) 메커니즘이 있습니다. 테이블은 작고 정상적인 웨이퍼 로딩을 위해 설계되었습니다. 노출 레이저는 OBDUCAT NIL-60-SS-UV-VC에 장착되는 반면, 필요한 경우 추가 레이저 소스를 추가 할 수 있습니다. NIL-60-SS-UV-VC에는 비상 정지 버튼 및 도어 인터 락, UV 라이트 커튼, 레이저 블랭커, 진동 격리 시스템, 재순환 수 냉각 및 이오나이저를 포함한 여러 안전 기능도 있습니다. 또한 냉온 (cold temper) 제어, 조정 가능한 조명 소스, 무대에서 외국 재료를 감지하는 센서, 가청 및 시각 경보가 특징입니다. OBDUCAT NIL-60-SS-UV-VC는 OBDUCAT TAIM 소프트웨어와 호환되므로 컴퓨터의 원격 작동이 가능합니다. @ info: whatsthis 또한 TAIM 소프트웨어는 데이터 저장, 문제 해결, 데이터 로깅, 실시간 분석을 위한 원격 모니터링 기능을 제공합니다. NIL-60-SS-UV-VC는 UV, Deep UV, DUV 및 VUV 노출뿐만 아니라 이중 노출 및 하위 해상도 노출을 포함한 다양한 리소그래피 응용 프로그램을 수행하는 데 사용될 수 있습니다.