판매용 중고 NIKON / TEL / TOKYO ELECTRON NSR 1755 G7A #9299967

NIKON/TEL/TOKYO ELECTRON NSR 1755 G7A는 반도체 제작 프로세스에 사용되는 깊은 자외선 (DUV) 스테퍼입니다. 300mm 스테퍼 플랫폼은 웨이퍼 패턴 처리 (wafer patterning process) 에서 높은 처리량과 뛰어난 균일성을 제공하며, 최첨단 초미세 기능 제조에 대한 높은 정확성과 해상도를 제공합니다. 이 기계는 단일 웨이퍼에 최대 24 층의 밀도 회로를 패턴화 할 수 있습니다. TEL NSR 1755 G7A는 248nm의 파장에서 작동 할 수 있으며, 최대 21 × 24 mm2의 큰 필드 크기를 특징으로합니다. 전체 지역의 필드 균일성은 매우 인상적이며, 액추에이터 수준에서 0.3% 이상에 이릅니다. 이렇게 하면 컴퓨터에서 실행되는 모든 패턴화 프로세스 (patterning process) 에서 오버레이가 매우 정확해집니다. G7A 에는 레이어 매핑을 위한 단계 및 반복 시스템 (steps and repeat system for layer mapping) 이 있어 웨이퍼 상에 다이 (die) 를 배치할 때 정밀 정렬이 보장됩니다. 또한 노출 시 에지 왜곡을 최소화하는 내장 옵티컬 왜곡 보정기 (Optical Distortion Compensator) 와 지속적인 성능 최적화를 위한 로컬 포커스 모니터 (Local Focus Monitor) 를 갖추고 있습니다. 스테퍼에는 3 개의 도량형 시스템이 장착되어 있어 중요한 크기 (CD) 값을 신속하게 감지하고 잠재적 인 오류를 보상 할 수 있습니다. G7A는 신뢰성이 높으며 상당한 유지 보수가 필요하지 않습니다. MTBF (mean time between failures) 는 13,800 시간이며, 이전 모델의 경우 10,500 시간과 비교되며 24 시간 동안 450 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 또한 섭씨 10도에서 28도 사이의 온도에서 부드럽게 작동하며, 상대 습도는 60% 이하입니다. 높은 정확성과 균일성과 결합된 NIKON NSR 1755 G7A 는 차세대 크리티컬 패턴화 (critical patterning) 애플리케이션 생산에 이상적인 솔루션입니다. 빠른 처리 속도, 뛰어난 해상도, 안정적인 성능을 통해 반도체 제조업체에게는 탁월한 선택이 가능합니다.