판매용 중고 NIKON SF155 #9309623

NIKON SF155 (NIKON SF155) 는 광범위한 고급 어플리케이션을 위한 종합적인 정밀 석판 처리 기능을 제공하도록 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 통합된 컴팩트한 디자인의 NIKON SF-155는 통합을 극대화하는 탁월한 성능을 제공합니다. 또한, 장비의 고급 광학 (optic) 및 제어 (control) 기능을 통해 리소그래피 프로세스의 각 단계를 정확하게 실행하여 최상의 결과를 얻을 수 있습니다. SF155의 주요 기능은 고급 광학입니다. 이 시스템은 고도의 WSS (Wafer Stepper Unit) 를 사용하여 스테퍼의 이미징 표면을 정확하게 제어합니다. WSS는 모든 이미징 매개변수가 최적의 (optimally) 으로 조정되어 최상의 이미지가 생성되도록 합니다. 또한, SF-155는 리소그래피 프로세스에 노출되는 동안 웨이퍼 (wafer) 의 각 레이어의 특성을 정확하게 측정하기위한 PatCam 광학 구성 요소 머신을 갖추고 있습니다. NIKON SF155는 또한 통합되고 유연한 자동 워크플로우 도구를 제공합니다. 이 자산은 리소그래피 프로세스의 각 단계를 빠르고 효율적으로 완료 할 수 있도록 합니다. 프로세스 또는 응용 프로그램을 수용하도록 자동화된 워크플로우 모델 (automated workflow model) 을 설정할 수 있으며, 필요한 단계만 완료하여 처리량을 향상시키고, 폐기물을 줄입니다. NIKON SF-155의 듀얼 선형 스테이지 설계는 또한 오버레이 정확도가 최소한으로 유지되도록 보장합니다. 이 설계는 모든 단계가 같은 방향으로 이동하도록 하며, 웨이퍼의 이미징 서피스 (imaging surface) 를 정렬하게 만드는 한 단계에서 이동을 최소화합니다. 또한, 장비의 이중 선형 스테이지 설계는 매우 효율적인 방식으로 x 축과 y 축의 움직임을 가능하게합니다. SF155 는 까다로운 리소그래피 (lithography) 애플리케이션을 위해 설계된 제품으로, 고급 프로세스에 이상적인 시스템입니다. 이 장치는 고급 이미징 기능 (advanced imaging capability), 통합된 자동화된 워크플로우 머신 (automated workflow machine) 및 견고한 스테이지 설계 (stage design) 를 통해 각 단계의 리소그래피 프로세스가 정확하고 효율적으로 수행되도록 합니다. 따라서 최상의 이미지를 효율적으로, 그리고 최소한의 폐기물로 만들 수 있습니다.