판매용 중고 NIKON SF100 #9260320
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NIKON SF100은 집적 회로 칩을 만드는 데 사용되는 반도체 제조 공정에 사용되는 웨이퍼 스테퍼입니다. NIKON Corporation에서 제조 한이 장치는 0.3 미크론 이상의 해상도로 와퍼를 이미징 할 수 있습니다. 웨이퍼의 이미지를 빠르고 정확하게 캡처 할 수있는 AF (Autofocus) 및 LAF (Laser Assisted Focus) 기능이 있습니다. NIKON SF-100은 정밀도를 보장하기 위해 고급 옵틱을 사용합니다. 고급 광학에는 최소 평면 차이를 감지 할 수있는 5 인치 렌즈가있는 4 렌즈 (four-lens) 장치가 포함되어 있으며, 더 정밀한 자동 초점 메커니즘을 제공합니다. 보를 왜곡하는 수차를 줄이기 위해 2 개의 광학 세트가 있으며, 이는 더 명확한 이미지와 우수한 패턴으로 이어집니다. SF 100에는 XYZ와 레일 스테이지가 모두 포함 된 고급 스테이지 시스템도 있습니다. XYZ 단계 (XYZ stage) 는 웨이퍼의 높은 정확도 정렬에 사용되며, 레일 스테이지는 웨이퍼를 이동시켜 주름이 감지되도록 할 수 있습니다. 스테이지 시스템의 조합은 또한 낮은 진동을 가능하게하여 이미징 정확도를 높입니다. SF100은 i-Line 및 KrF 레이저 소스를 포함한 다양한 노출 소스를 제공합니다. I-Line 소스는 고해상도 이미징에 적합하며, KrF 소스는 더 높은 처리량을 제공합니다. 두 소스 모두 노출 시간이 매우 다양하며, 이미징 중에 해상도가 더 높아집니다. 또한, 이 장치는 대부분의 석판화 필름 (lithography film) 과 호환되므로 요구 사항에 맞는 최적의 필름을 선택할 수 있습니다. 마지막으로, NIKON SF 100은 또한 고급 제어 시스템 (Advanced Control System) 을 갖추고 있으며, 이를 통해 사용자는 해당 사양에 따라 복잡한 이미징 작업을 수행할 수 있도록 장치를 프로그래밍할 수 있습니다. 또한 이 장치를 NIKON SMIF 시스템과 통합하여 사용자가 자신의 프로그램을 식별하고 웨이퍼 전체에서 레이아웃을 만들 수 있도록 합니다 (영문). 이러한 모든 기능을 통해 SF-100은 매우 정밀하게 고품질 이미지를 제공할 수 있습니다.
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