판매용 중고 NIKON SF100 #293621279

NIKON SF100은 반도체 제작을 위해 NIKON Corporation이 만든 다단계 스테퍼로, 웨이퍼의 비접촉 리소그래피를 허용합니다. 이 웨이퍼 스테퍼는 65 나노미터 (nm) 이하의 노드 제조에 최적화된 고정밀 제작 프로세스에 사용하도록 설계되었습니다. NIKON SF-100은 127 밀리미터 (mm) 의 대형 이미지 평면을 갖춘 이중 단계 광학 장비를 갖추고 있으며, 웨이퍼에 투사되는 이미지의 정확도가 높고 수차가 최소화됩니다. 이 시스템은 또한 원래 경사 조명 광원과 NIKON 고급 수차 제어 광학 (optics) 을 갖추고 있으며, 리소그래피 프로세스 동안 발생하는 저차 수차까지 수정합니다. 결과적으로 표준 풀 필드 이미징 프로세스 (full-field imaging process) 뿐만 아니라 전체 변조 연산점이 포함 된 중심 중첩 필드 (intered overlapping field) 에서만 정확하고 정확한 정렬로 65 nm 이하의 이미징이 발생합니다. SF 100은 NIKON ESC (Exposure Stepping Control) 메커니즘을 사용하여 다중 조정 및 제어 스테이지 동작, 카운터 스텝 등의 기능과 함께 정확한 노출을 보장하며, 지속적으로 모니터링되는 동적 중심 정렬을 통해 빠르고 정확한 패턴 정렬을 제공합니다. 이 장치는 최대 4프레임/초의 캡처 속도 (최대 4프레임/초) 를 제공합니다. 즉, 최대 4프레임/초 (최대 4개 프레임/초) 의 크기 조정 기능을 통해 다음 구조로 이동하기 전에 한 패스에 장치 구조를 정확하게 노출하도록 제어할 수 있습니다. 또한, 이 머신은 필드의 중심, 배치 모드 (batch mode) 작업 및 이미지 형식 전환을 감지할 수 있는 비전 (vision) 도구를 내장하여 다양한 프로덕션 작업을 위한 유연한 도구입니다. 니콘 SF 100 (NIKON SF 100) 은 또한 여러 가지 안전 및 보호 기능을 가지고 있으며, 스테퍼 또는 웨이퍼에 대한 손상 (예: 웨이퍼 스테이지의 충돌 방지, 다양한 셔터 인터 인터 잠금) 을 방지합니다. 또한 에셋은 편리하고 직관적인 터치 패널 (touch panel) 과 같은 다양한 유용한 기능을 갖춘 사용자 친화적 인터페이스 (User-Friendly Interface) 를 제공하여 빠르고 손쉽게 작업을 수행할 수 있고, 간편하게 작업을 수행할 수 있는 아이콘을 제공합니다. SF-100은 고급 웨이퍼 (wafer) 장치의 고정밀 제작에 이상적인 선택으로, 정밀도, 정확도, 유연성의 독특한 조합을 제공합니다. 첨단 기능과 안정적인 설계를 갖춘 SF100 은 현재/향후 최첨단 운영 프로세스를 위한 완벽한 선택입니다.