판매용 중고 NIKON SF 130 #293829385

NIKON SF 130은 반도체 장치 구조의 제조에 사용되는 웨이퍼 스테퍼입니다. 첨단 장치 이미징 장비로, 다양한 이미징 (imaging) 작업을 수행할 수 있습니다. 이 웨이퍼 스테퍼는 탁월한 시스템 성능, 높은 처리량 및 가동 시간을 제공합니다. 차세대 반도체 장치 제조를 시작하도록 설계되었습니다. NIKON SF130에는 자유형 몰입 광학 장치 (Free-Form Immersion Optical Unit) 가 장착되어 있으며, 이는 뛰어난 이미징 기능과 다른 기존 롤러 시스템에 비해 향상된 이미징을위한 더 높은 심도 (Depth of Field) 기능을 제공합니다. 더 넓은 심도 (depth of field) 는 유령과 난시를 줄이는 동시에 정확성과 정밀도를 높이는 데 도움이됩니다. 기계에는 작동 속도를 향상시키는 고급 고속 노출 처킹 (rapid exposure chucking) 도구가 장착되어 있습니다. 또한 사전 일치하는 렌즈 어셈블리와 통합 렌즈 클리닝 에셋 (integrated lens cleaning asset) 을 사용하여 유지 보수가 용이하도록 설계되었습니다. SF 130은 고급 독점 비전 기반 정렬 모델과 함께 작동합니다. 이 장비는 빠른 정렬 업데이트 (Rapid Alignment Updating) 를 제공하며, 여러 이미지를 분석하여 마스크가 웨이퍼에 정확하게 정렬되고 배치되도록 할 수 있습니다. 정렬 시스템은 또한 웨이퍼 위치를 지속적으로 모니터링하며, 교대시 자동 교정 (auto-correct) 할 수 있습니다. 이를 통해 오류를 줄이고 생산성을 향상시킬 수 있습니다. SF130 은 호스트 기반 소프트웨어 유닛에 의해 제어됩니다. 이 기계는 사용자 인터페이스, 진단, 측정, 이미징, 시뮬레이션, 데이터 수집, 자산 제어 등 모든 도구 기능을 통합합니다. 높은 처리량과 정확한 결과를 위해 최적화된 직관적인 GUI (그래픽 사용자 설계) 를 제공합니다. 이 모델은 고성능 패턴 제너레이터 (pattern generator) 와 고속 빔 (beam column) 으로 구동되며, 시간당 최대 500 웨이퍼의 속도로 작동 할 수 있습니다. 낮은 소음 및 진동 수준으로 작동하여 안정적인 프로세스 환경을 보장합니다. 이 장비는 또한 우월한 FOUP-to-FOUP 용량을 갖추고 있으므로 한 번에 최대 1,000 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 전반적으로 NIKON SF 130은 뛰어난 시스템 성능, 높은 처리량, 가동 시간을 제공하는 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 탁월한 비전 기반 정렬 장치, 고속 빔 칼럼, 고급 독점 비전 기반 정렬 장치 (Advanced Proprietary Vision-Based Alignment Machine) 를 갖춘 차세대 반도체 장치 제조를 용이하게하도록 설계되었습니다.