판매용 중고 NIKON SF 130 #293814189
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ID: 293814189
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2004
i-Line stepper, 12"
Loader chamber
Control rack
Temperature controller
Piezo
Slider
Power supply
Lamp house rack
Lamp cooling
Back side frame
Top chamber
Upper frame
Loader rail
Foup
Control panel
SEMES KSPIN12 Load module
HP DS10 Workstation
SR10MP 4IL2 Lens
HBO 5004 Laser
Process modules:
Light source
Alignment
Stage
No Framework (FW) Robot
No Reinforcement Learning (RL) Index robot
No Reinforcement Learning (RL) controller
No Reinforcement Learning (RL) Buffer robot
No Reinforcement Learning (RL) controller
No Blind YD
No XL-axis unit
No Morocco board
No R-Θ Robot
No Robot controller
No RL PRE1 Z-Axis motor
No RL PRE1 PRC Motor
No IU-DRV10M
2004 vintage.
니콘 SF 130 (NIKON SF 130) 은 반도체 리소그래피 시장의 요구를 충족하도록 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 집적 회로 제작에 널리 사용되는 고급, 고정밀 생산 도구입니다. 이 기계는 photolithography, 유전체 층 패턴, nanoimprinting 등 다양한 응용 프로그램을 제공합니다. NIKON SF130에는 고해상도 스캔 단계 (scan stage) 와 자유형 투영 렌즈가 장착되어 있으며, 180nm 정도의 해상도에서 웨이퍼 표면을 정확하게 패턴화할 수 있습니다. 다중 필드 이미징 시스템을 갖추고 있으며, 한 번에 2 개 또는 3 개의 독립 필드를 스캔/노출 할 수 있습니다. 뿐 만 아니라, 여러 개 의 "웨이퍼 스택 '을 한 번 에 적재 하여" 스테퍼' 로부터 언로드 하여 "웨이퍼 '처리 의 처리량 을 크게 증가 시킬 수 있다. SF 130은 복잡한 패턴, 낮은 왜곡 접촉 및 복잡한 기능을 생성 할 수 있습니다. 단일 패스로 웨이퍼 (wafer) 를 처리하여 기존 웨이퍼 스캐닝 도구보다 뛰어난 성능과 커버리지를 제공합니다. 또한 SF130 의 강력한 이미지 처리 기능을 통해 마이크로패터닝 (micropatterning) 애플리케이션에 적합합니다. NIKON SF 130은 사용자 친화성을 염두에 두고 설계되었으며, 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 와 처리 설정을 위한 다양한 도구를 제공합니다. 또한 일련의 이미지 처리 EDU (Image Processing EDU), 고도로 전문화된 알고리즘이 장착되어 있으며, 패턴화 프로세스의 정확성을 보장하는 강력한 실시간 제어 시스템이 있습니다. 니콘 SF130 (NIKON SF130) 은 내구성이 뛰어난 재료로 제작되었으며 업계 등급 (Industry Grade) 구성 요소가 장착되어 있어 신뢰성이 높으며 까다로운 환경에서 작업 할 수 있습니다. 모든 NIKON SF 130은 엄격한 테스트와 품질 보증을 거쳐 제품의 안정성과 견고성을 보장합니다. SF 130 은 반도체 업계에서 광범위한 애플리케이션을 제공하며, 안정적이고 효율적인 생산 툴입니다. 뛰어난 패턴화 능력, 높은 정밀도, 신뢰성 있는 생산성을 제공하므로, 다양한 어플리케이션에서 최상의 선택이 가능합니다.
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