판매용 중고 NIKON S620D #293670592
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NIKON S620D 장비는 마이크로 스케일에 통합 장치 및 회로를 만들도록 설계된 석판화를위한 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 높은 처리량 리소그래피 (lithography) 뿐만 아니라 높은 정확도에 적합하며 반도체, 광학 장치, MEMS, LCD 기술 분야의 장치 및 제품 제작에 일반적으로 사용됩니다. S620D 시스템은 직접 노출의 경우 최대 0.1micron, 간접 노출의 경우 1 미크론의 해상도를 갖습니다. 고수준 및 저수준 조명 기술, 전통적인 스테퍼/스캐너 하드웨어가 특징입니다. 이미지 필드는 8 인치 또는 12 인치이며, 단계 및 반복 기능을 사용하여 더 큰 필드를 처리할 수 있습니다. 이 장치에는 조절 가능한 용량, 디포커스 제어 및 자동 노출 모니터링이 포함됩니다. 또한 NIKON S620D 에는 처리 중 웨이퍼 변위를 자동으로 보완하는 고급 자동 정렬 (automated alignment) 기능이 포함되어 있습니다. S620D는 여러 레이어를 하나의 시퀀스로 매핑해야 하는 애플리케이션에 최적화된 3 차원 매핑 기능을 제공합니다. 이 기계는 고대비 저항으로 작동하며, 정렬 오류를 최소화하도록 설계되었습니다. NIKON S620D 에서 생성되는 이미지 품질은 일관되게 높아 거부 횟수가 적고, 결과는 정확합니다. S620D를 사용할 때, 노출 단계 공기 베어링은 무대 전체에 걸쳐 매우 정밀하고 부드러운 웨이퍼 이동을 가능하게합니다. 이 툴은 전력 소비량이 적고 유지 관리 요구 사항이 낮기 때문에 웨이퍼 (Wafer) 제조 환경에 쉽게 통합됩니다. 니콘 S620D (NIKON S620D) 는 용매 폐기물 (solvent waste) 의 감소와 건설에 사용되는 재활용 재료 덕분에 친환경적인 자산이기도합니다. S620D는 다양한 소프트웨어 패키지와의 호환성으로 더욱 향상되었습니다. 이 소프트웨어는 수동 및 자동 프로그래밍을 모두 제공합니다. 매개 변수는 각 응용 프로그램의 특정 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. 이 다양한 소프트웨어 옵션을 통해이 스테퍼는 리소그래피와 관련된 사람들을 위해 매우 다재다능한 도구입니다. 전반적으로 NIKON S620D 웨이퍼 스테퍼는 저렴한 가격으로 리소그래피에 대한 안정적이고 정확한 모델을 제공합니다. 많은 기능, 낮은 전력 소비량, 친환경성, 다양한 호환 소프트웨어 패키지 (compatible software package) 를 통해 석판화 분야에 가장 적합한 솔루션이 됩니다.
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