판매용 중고 NIKON S62 #9169706

NIKON S62 웨이퍼 스테퍼 (NIKON S62 Wafer Stepper) 는 반도체 재료에 마이크로 구조화 된 표면을 만들고 복제하는 데 사용되는 정밀 이미징 및 리소그래피 장비입니다. 2nm 이하의 정확도로 광범위한 웨이퍼 (wafer) 재질에서 정확한 표면을 생성 할 수있는 고해상도 기계입니다. 이 시스템은 이중 정렬 및 이미징 기능을 갖추고 있으며, 고품질 이미징 및 리소그래피 (lithography) 요구 사항을 충족하는 엄격한 2D 이미징과 고급 단계 전환을 결합합니다. 기본 제공되는 정렬 장치 (alignment unit) 는 최대 10nm의 정확도로 빠른 정렬 및 레티클 (reticle) 배치를 가능하게 하며, 이미징 머신은 최적화된 이미징 품질 및 성능을 위해 다양한 수치 조리개를 제공합니다. S62는 석판 공정을 돕기 위해 Mach 2.3 직접 쓰기 레이저 도구를 사용합니다. 이 자산에는 필요성에 따라 일제히 또는 별도로 사용할 수있는 2 개의 레이저가 있습니다. 이 모델의 반복 가능한 포지셔닝 정확도는 200nm, 공간 해상도는 0.5m이며, 정확하고 정확한 리소그래피 작동이 가능합니다. 이 장비에는 또한 내장된 데이터 획득 및 제어 시스템 (Data Acquisition and Control System) 이 내장되어 있어 원시 이미지 및 리토그래피 데이터 저장 데이터 관리 장치 (Data Management Unit) 와 함께 리소그래피 프로세스를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. NIKON S62는 또한 완전하게 자동화된 design-to-wafer 워크플로우를 제공하여 웨이퍼 스테퍼 프로그래밍을 단순화하고 복잡한 패턴 머시닝과 관련된 비용을 줄일 수 있습니다. Nikons S62는 반도체 응용 분야에 이상적인 정밀 표면을 제공하는 고품질 이미징 및 석판화 기계입니다. 이 툴은 이중 정렬 및 이미징 기능, 레이저 자산, 데이터 획득 및 제어 모델 (Data Acquisition and Control Model), WAFER (Design-to-Wafer Workflow) 등의 조합을 통해 Wafer Stepper 기술 분야에서 강력한 머신이 됩니다.