판매용 중고 NIKON S207D #9309609

NIKON S207D
제조사
NIKON
모델
S207D
ID: 9309609
Steppers.
NIKON S207D는 고급 수준의 정확성과 정밀도를 가진 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 최신 단계의 기술과 모션 컨트롤 (Motion Control) 기술이 적용된 이 제품은 거의 모든 생산 환경에서 웨이퍼 (Wafer) 표면에 고정밀 슬릿 (Slit) 모양의 이미지를 제작할 수 있습니다. 이렇게 하면 "웨이퍼 '표면 에 미세 한" 패턴' 을 정확 히 인쇄 하여 "반도체 '처리 의 발전 을 가능 하게 된다. 스테퍼에는 4 축 다이렉트 드라이브 (direct drive) 가 장착되어 있으며, 이를 통해 웨이퍼 (wafer) 를 목표에 따라 스캐닝하고 스캐닝할 수 있으며, 다양한 응용 프로그램에서 사용할 수 있습니다. 그것은 ± 10äm 이하의 매우 높은 정확도를 특징으로하며, 이는 향상된 수율에 기여합니다. 와퍼당 최대 50 초의 스캔 정렬 속도 (scan-align speed) 에 도달하여 운영 주기의 처리량을 크게 높일 수 있습니다. S207D는 또한 고급 레이저 기반 정렬 장비를 갖추고 있으며, 이를 통해 이미지를 정확하게 배치할 수 있습니다. 이 시스템은 목표의 크기와 모양을 정확하게 측정하여 이미지를 정확하게 배치할 수 있게 합니다 (영문). 이 장치는 또한 최적의 이미지 배치를 위해 노출 중 웨이퍼 워핑 (wafer warping) 을 모니터링합니다. 이 스테퍼는 또한 고급 멀티 포인트 광학 머신 (multi-point optical machine) 을 장착하여 넓은 시야를 제공합니다. 이 도구는 최대 180 ° 의 시야각을 제공하여 전체 웨이퍼 서피스 (wafer surface) 를 검사할 수 있습니다. 또한 wafer front, backside 및 sidewall을 검사 할 수 있습니다. 또한이 정밀도는 높은 안정성 머신 베드의 도움을받습니다. 이 베드 (bed) 는 목표의 정렬 정확성을 유지하고 인쇄되는 이미지의 품질을 유지하기 위해 목표에 대한 측면 (sidwall) 지원을 제공하도록 설계되었습니다. 이 자산이 보장하는 '정확도' 와 '정확도' 를 통해 업계는 생산수요에 맞는 웨이퍼 칩을 빠르고 효율적으로 생산할 수 있습니다. 요컨대, NIKON S207D 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 최첨단 장비로, 생산 주기에서 웨이퍼를 사용할 때 전례없는 정밀도와 정확성을 제공 할 수 있습니다. 이를 통해 업계는 생산 요구에 대한 웨이퍼 칩을 빠르고 효율적으로 생산할 수 있습니다. 고급 모션 컨트롤 기술, 4 축 다이렉트 드라이브, 레이저 기반 정렬 모델, 멀티 포인트 옵티컬 장비 (multi-point optical equipment) 를 통해 웨이퍼 표면에 ± 10äm 이하의 정확도로 슬릿 모양의 이미지를 생성 할 수 있습니다. 이를 통해 제품의 품질과 생산량이 높아집니다.
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