판매용 중고 NIKON S205 #293667241

NIKON S205는 반도체 칩 제조에 사용되는 정밀 스테퍼입니다. 2550mm x 2800mm x 2800mm 및 4,000kg 이상의 대형 장치입니다. 이 제품은 복잡한 칩의 매우 정확한 패턴화 (details) 를 제공하도록 설계되었습니다. NIKON S 205에는 200mm 투영 렌즈와 2 개의 개별적으로 제어 된 정전 식 결합 마스크 스테이지가 포함 된 스캔 헤드가 장착되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 고해상도 청색 조명 (Blue-Light Illumination) 및 위상 이동 마스크 (Phase-Shift Mask) 를 사용하여 칩을 빠르고 정확하게 패턴 화 할 수 있습니다. S205 는 65nm ~ 250nm 의 칩과 결함 복구 작업을 수행할 수 있으며, 다양한 포토리스트 (photoresist) 및 기판과 함께 작업할 수 있습니다. 자동 (automated) 광 정렬 시스템을 통합하여 각 노출 전에 마스크 및 웨이퍼를 서로 정확하게 배치합니다. S 205에는 오염을 줄이고 수율을 개선하는 칩 처리 프로세스 (chip-handling process) 도 장착되어 있습니다. 수작업 처리를 줄이기 위해 자동화된 오염 방지 시스템 (contamination prevention system) 과 웨이퍼 처리 로봇 암 (wafer handling robot arm) 이 있습니다. 또한 최적의 장치 성능을 보장하기 위해 wafer flatness 및 topography 측정 기능을 자동화했습니다. NIKON S205는 또한 환경 모니터링 시스템을 통합하여 모든 프로세스 조건이 미리 정의된 제한 내에 유지되도록 합니다. 이를 통해 일관된 결과를 보장하고 디바이스 장애 위험을 최소화할 수 있습니다. 전반적으로 NIKON S 205는 정밀도, 정확도가 높은 다양한 칩을 처리 할 수있는 다목적 웨이퍼 스테퍼입니다. 마스크 (mask), 웨이퍼 정렬 (wafer alignment), 자동화된 오염 방지 (automated contamination prevention), 환경 모니터링 (environmental monitor) 등 다양한 기능을 통해 지침을 보장하고 칩을 매우 정확하게 생산할 수 있습니다.