판매용 중고 NIKON S204 #293814741

NIKON S204는 마이크로 일렉트로닉스 제조 응용 프로그램의 칩 패턴화를 위해 설계된 고도로 자동화 된 웨이퍼 스테퍼입니다. 고정밀도, 고속 XY 스테이지 (XY 스테이지) 로 설계되었으며, 다양한 패턴화 어플리케이션에서 포지셔닝할 수 있습니다. NIKON S 204의 해상도는 0.02 미크론으로, 다양한 지형 요구에 대해 매우 높은 정확도와 정밀도로 작동 할 수 있습니다. S204는 고정밀도 및 고처리량 리소그래피 어플리케이션을 위해 특별히 설계되었습니다. 여기에는 다양한 필드 크기, 고급 수차 수정, 자동 이미지 등록 (Automated Image Registration) 등 다양한 최첨단 기능이 포함됩니다. 또한 부드럽고, 반복 가능하며, 신뢰할 수있는 리소그래피 패턴을 보장하는 고급 스테이지 디자인이 특징입니다. S 204 는 또한 통합 정렬 모니터 (Integrated Alignment Monitor) 를 갖추고 있으며, 이를 통해 운영자는 인쇄된 패턴의 피쳐 정렬을 실시간으로 확인할 수 있습니다. 이 모니터는 높은 NA 렌즈를 사용할 때 패턴의 무결성을 보장하는 데 유용하며, 생산된 웨이퍼 (wafer) 의 최적화에 도움이 됩니다. 또한 제조 효율을 극대화하기 위해 다른 레이어 깊이에 빠르게 집중할 수있는 자동 초점 시스템 (auto-focus system) 이 있습니다. NIKON S204에는 자동 초점 렌즈, 대기 압력 컨트롤러, 레이저 변위 장치 등 자체 주변 장치 액세서리 세트도 함께 제공됩니다. 성능면에서 NIKON S 204는 시간당 250 만 건 이상의 노출을 수행 할 수 있으며, 정확성을 희생하지 않고 고품질 패턴을 신속하게 생성 할 수 있습니다. 또한 총 오버헤드 시간이 2.5 분 미만으로, 전체 처리량이 높고, 재작업 시간이 단축됩니다. 또한 S204는 뛰어난 반복성을 제공하여 일관되게 정확하고 반복 가능한 결과를 낼 수 있습니다. 전반적으로 S 204는 칩 패턴 응용 프로그램을 위해 설계된 고급의 고정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 탁월한 정확성, 해상도, 처리량을 제공하여 운영 비용 절감, 수익률 증가, 처리 시간 단축 등의 효과를 제공합니다.