판매용 중고 NIKON S203 #293814738

NIKON S203은 광범위한 반도체 제작 프로세스를 처리하도록 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 박막 증착, 이온 이식, 에치 및 기타 프로세스를 처리하도록 설계되었습니다. S203은 광시야각, 레이저 정렬 및 높은 반복성을 제공합니다. NIKON S203에는 트리플 니트 (triple-knit) 옵티컬 시스템으로 인해 넓은 시야를 갖춘 고급 디자인이 있습니다. 이 시스템은 최대 4 개의 4 인치 웨이퍼를 동시에 수용 할 수있는 넓은 시야를 갖추고 있습니다. 또한, S203에는 웨이퍼 서피스에 대한 엄격한 공차를 보장하기 위해 스테이지를 자동으로 조정하는 레이저 정렬 시스템 (Laser Alignment System) 이 있습니다. NIKON S203은 플랫폼에서 웨이퍼 배치에 대한 높은 반복 가능성 등급 0.3um입니다. 이 정확도는 여러 작업 후에도 유지됩니다. 이 플랫폼은 또한 넓은 드리프트 (drift) 와 빠른 정착 시간을 제공하며, 여기에는 정착 중 서보 모터 (servo motor) 로 인한 낮은 진동이 포함됩니다. 이렇게 하면 처리량의 일관성이 높아지고 작업의 반복성이 향상됩니다. S203에는 웨이퍼 인식 (wafer recognition) 용 CCD가 있어 작업의 효율성과 처리량이 증가합니다. 또한 최대 200 개의 웨이퍼를 수용 할 수있는 대형 웨이퍼 매거진이 있습니다. 따라서 웨이퍼를 동시에 로드, 언로드할 수 있고, 스테퍼가 사용자 개입 없이 작동할 수 있습니다. 또한 NIKON S203에는 최대 20 척을 수용 할 수있는 대형 척 풀이 있습니다. 이렇게 하면 다른 척 (chuck) 간의 정확한 척 (chuck) 배치 및 이미지 정렬을 통해 정확하고 일관된 패턴화 결과를 얻을 수 있습니다. 마지막으로, S203은 무단 액세스로부터 스테퍼를 보호하기 위해 설계된 고급 제어 시스템 (Advanced Control System) 및 보안 기능을 갖추고 있습니다. NIKON S203은 또한 유연한 소프트웨어 인터페이스를 가지고 있으며, 기존 운영 시스템에 통합될 수 있습니다. 전반적으로, S203은 광범위한 반도체 제작 작업을 위해 매우 고급적이고 신뢰할 수있는 웨이퍼 스테퍼입니다.