판매용 중고 NIKON S202 #293825805

NIKON S202는 반도체 마스크를 정확하게 인쇄, 패턴, 검사하도록 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 높은 수준의 처리량에서도 높은 해상도, 정확도, 균일성, 라인 에지 (line edge) 품질을 표시할 수 있습니다. S202에는 고속 스캔을 제공하는 이중 4도 스캐너와 150mm 스테퍼가 있습니다. 이를 통해 빠른 웨이퍼 처리량과 우수한 라인 및 에지 품질이 가능합니다. 스테퍼에는 +/- 2도 기울기 범위의 변환, 스캔 및 회전 기능을 지원하는 주 단계 (main stage) 를 포함하여 3 단계의 동작 제어가 장착되어 있습니다. NIKON S202는 최대 200mm 직경의 쿼츠 마스크와 0.2 미크론의 얇은 쿼츠 레이어로 웨이퍼를 인쇄, 검사할 수 있습니다. 스테퍼에는 마스크 인쇄 및 검사를위한 12 개의 고정 필드, 높은 정확도 렌즈와 정밀 기하학적 결함 측정을위한 2 가지 검사 모드가 있습니다. S202에는 Quartz CD 및 Metal CD 레이어 모두에 대한 자동 정렬 시스템이 있습니다. 또한 배치 및 정렬에 대한 다양한 제한이 있으므로 자동화된 CD 측정 및 결함 탐지가 가능합니다. 스테퍼에는 공기 청결도 및 입자 제어를 유지하는 고급 클린 룸 룸 관리 시스템 (Clean Room Room Management System) 이 있으며, 우수한 수준의 환경 품질 제어를 제공합니다. NIKON S202는 다양한 웨이퍼 스테퍼입니다. S202는 마스크 회절 생성기 (mask-diffraction generator) 와 회절 격자 시스템 (diffraction grating system) 과 함께 다중 해상도 기능을 가지고 있어 높은 정밀도로 패턴을 인쇄할 수 있습니다. 경미한 생산 수준에서도 우수한 수준의 라인 에지 (line edge) 품질과 스트라이프 (stripe) 를 보여줄 수 있습니다. NIKON S202는 대용량 반도체 제조에 이상적인 선택입니다. 이 스테퍼에는 뛰어난 작동 온도 안정성, 다중 정렬 및 해상도 (Multiple Alignment and Resolution) 기능, 뛰어난 라인 에지 (Line Edge) 품질이 있어 최고의 성능과 향상된 품질이 제공됩니다. 탁월한 속도, 품질, 해상도의 기능을 갖춘 S202는 웨이퍼 스테퍼를 위한 완벽한 선택입니다.