판매용 중고 NIKON S202 #293825804
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ID: 293825804
Scanner
Renesas upside: +8K/m tool
DUV (Non-Critical, 4X Scanner, KrF)
Host station.
NIKON S202는 고급 이미징 및 정밀 장비 제조업체 인 NIKON Corporation이 개발 한 웨이퍼 스테퍼입니다. IC (integrated circuit) 제조에 사용되는 광석판과 같은 반도체 제작 프로세스에 사용하도록 설계되었습니다. 스테퍼는 다양한 광학 구성 요소가있는 6 필드 광학 장비를 갖추고 있으며, 이는 다양한 각도에서 여러 번 노출되어 반복 가능한 패턴 정확성을 제공합니다. 조명 시스템에는 0.75 ~ 8.0 mm 크기의 노출 필드 크기를 제공하는 6 위치 줌 렌즈 (zoom lens) 가 포함되어 있으며, 노출 시간은 3 ~ 10 초에서 선택할 수 있습니다. 또한 자동 정렬 장치 (Automatic Alignment Unit) 와 매우 정확한 스테이지 장치 (Stage Device) 를 장착하여 웨이퍼 및 마스크를 최적으로 정렬할 수 있습니다. 또한 S202는 뛰어난 가시성을 제공하는 다채로운 LCD 모니터와 함께 사용자에게 친숙한 작동 패널을 제공합니다. 스테퍼에는 안정된 작동 환경을 제공하기 위해 환경 센서 (예: 온도 감지, 공기 흐름 센서 몇 개) 가 장착되어 있습니다. 이 기계는 또한 자동 교정 (automatic calibration) 및 모니터링 (monitoring) 도구를 통해 광학 필드 정렬을 최대 정확도로 언제든지 빠르고 정확하게 조정할 수 있습니다. 데이터 전송은 기가비트 이더넷 (Gigabit Ethernet) 과 USB 연결을 사용하여 외부 데이터 시스템과 쉽게 통합됩니다. 또한 "스테퍼 '에는" 레지스트' 표면 에 입자, 이물질 또는 기타 결함 이 있음 을 감지 할 수 있는 특수 한 특징 이 있다. 또한, NIKON S202에는 노출 달성 작업 중 발생하는 고온을 제어하기 위한 노출 실행 시간 (Exposure Running Time) 과 전력 소비량 (Power Consumption) 이 크게 줄어드는 냉각 자산이 내장되어 있습니다. 스텝퍼 (stepper) 도 가볍고, 작은 크기의 웨이퍼 정렬이 가능한 소형 디자인으로, 프로토 타입 응용 프로그램에 이상적입니다. 또한 이 스테퍼에는 데이터 관리를 위한 소프트웨어 (software) 가 장착되어 있으며 손쉬운 작동과 편의성을 위해 터치 (touch) 패널을 원격으로 제어할 수 있습니다. 또한, 작업 메모리 저장 및 자동 마스크 플레이트 교환을 통해 생산 효율성이 향상됩니다. 전체적으로, S202는 다양한 기능을 갖춘 잘 설계된 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 로, 사진 촬영 프로세스에 이상적입니다. 매우 정확하고, 효율적이며, 사용자 친화적이며, 다양한 IC 제작 작업에 적합합니다.
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