판매용 중고 NIKON S202 #293825803
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ID: 293825803
Scanner
Renesas upside: +8K/m tool
DUV (Non-Critical, 4X Scanner, KrF)
Host station.
니콘 S202 (NIKON S202) 는 반도체 업계에서 광범위한 애플리케이션을 제공하고 탁월한 수익성을 제공하는 스테퍼입니다. 이 장비는 가로 필드 장치와 엄격한 설계 규칙을 통해 뛰어난 화질을 제공합니다. S202 는 완전 자동 정렬 (Fully Automated Alignment) 솔루션을 통해 시스템을 쉽게 작동하고 정렬 정확도를 높일 수 있습니다. NIKON S202는 높은 정확도 mxSEM 렌즈로 인해 고급 자동 초점 및 중첩 제어를 제공합니다. 이 조합은 정렬 시간을 크게 줄이고 수율을 증가시킵니다. 이 장치에는 오프 축 조명도 있으며, 이는 균일 한 노출과 높은 대비 YAG 이미징 기계를 달성합니다. 이렇게 하면 [정렬] 프로세스가 단순화되어 이미지가 노출 전에 올바르게 초점을 맞출 수 있습니다. 또한, 이 도구는 Sextupole Marking (Sextupole 마킹) 을 통해 고해상도의 작은 격리된 피쳐를 정확하게 재생산할 수 있습니다. 고급 스티칭 툴 (stitching tool) 과 피벗 보정 기술 (pivot correction technology) 을 통해 사용자는 노출 사이에서 웨이퍼를 이동하지 않고도 원활한 결과를 제공하는 대형 샷 필드를 만들 수 있습니다. 또한 이러한 첨단 기술을 통해 왜곡 수준이 낮아지고, 등록 장애가 줄어듭니다. NIKON S202는 고급 오버레이 기능 (Overlay 기능) 과 높은 처리량 (Throughput) 설정으로 인해 최고의 스테퍼 생산성을 제공할 수 있습니다. 이 머신은 스텝 앤 리피트 (step and repeat), 스캔 (scan) 및 레티클 (reticle) 정렬 솔루션을 제공하여 처리량을 최적화하고 수율을 향상시킬 수 있습니다. 또한, 이 툴은 동급 최고의 정렬 정확도를 통해 제품 생산량을 향상시키고 폐기물을 줄일 수 있도록 설계되었습니다. 전반적으로, S202는 뛰어난 이미지 품질 및 제품 생산성을 보장하는 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급 정렬 솔루션, Sextupole 마킹 (Sextupole Marking), 오프 축 조명 (Off-axis lumination) 및 사용자에게 최고의 스테퍼 생산성을 제공하는 높은 처리량 설정이 특징입니다. 뛰어난 화질과 오버레이 정확도로, NIKON S202는 반도체 장치 처리에 이상적인 선택입니다.
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