판매용 중고 NIKON R2205HMF #293664653
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NIKON R2205HMF는 고급 석판화 응용 프로그램을 위해 설계된 고성능 웨이퍼 스테퍼 장비입니다. 시스템에는 고급 리소그래피 컨트롤러, 지능형 스캔 정렬기, 4축 스테이지 및 고급 스캐닝 노출 장치가 포함됩니다. 이 제품은 웨이퍼, 성능 저하 마스크, 유기 필름 등 다양한 기판에서 고출력, 고대비, 고해상도 (고해상도) 기능을 모두 제공합니다. 고급 리소그래피 컨트롤러 (Advanced Lithography Controller) 는 반복 가능하고 정확한 노출 제어 기능을 제공하며, 여러 패턴을 단일 웨이퍼로 재구성하여 대용량 장치 (Large Area Device) 에 적합합니다. 웨이퍼 당 여러 사이트의 고정밀도, 비파괴적 기능을 지원합니다. 지능형 스캔 정렬기 (Intelligent Scan Aligner) 는 자동 정렬 프로세스에서 에지 시프트 (Edge-Shift) 오류를 조정하여 극한의 기능론에도 반복 가능한 노출 정확성을 제공합니다. 하나의 작업에서 여러 웨이퍼의 매크로 레벨 스티칭을 처리 할 수 있습니다. 4축 단계는 초저전력 병렬 반응 방법론을 통해 빠르고 정확한 동작 제어를 제공하도록 설계되었습니다. 대형 기판 (예: 전체 웨이퍼) 을 정확하게 배치하여 작동합니다. 고급 스캐닝 노출 머신 (Advanced Scanning Exposure Machine) 은 패턴화 된 시야와 다양한 레티클 크기의 레이저 스캔 흥분을 사용합니다. 단일 노출로 전체 해상도로 단일 웨이퍼 (wafer) 를 노출 할 수 있습니다. R2205HMF 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 다양한 기판의 정확하고 빠른 생산을 위해 설계되었습니다. 대용량 및 대용량 영역의 초고해상도 (ultra-fine) 기능을 위한 높은 처리량, 고대비, 고해상도 결과를 제공합니다. 강력한 기능을 통해 고급 석판화 응용 프로그램에 적합합니다.
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