판매용 중고 NIKON PL-2 #293659411

NIKON PL-2 웨이퍼 스테퍼는 미세 회로를 반도체 웨이퍼에 인쇄하는 데 사용되는 8 인치 웨이퍼 정렬 스테퍼입니다. 최고 수준의 정렬 정확도 (Alignment Accuracy) 및 탁월한 이미지 품질을 제공하여 뛰어난 장치 제작을 지원합니다. PL-2 는 고급 광학 엔지니어링 기술 (Optical Engineering Technologies) 을 채택하여 고급 이미징을 구현하고, 다양한 배경색과 레벨에서 집중적이고 균일하게 조명된 이미지를 제공합니다. 정밀 엔지니어링은 스테퍼 작업 중 웨이퍼 스포일링을 최소화하여 높은 처리량을 보장합니다. 수상 경력에 빛나는 NIKON PL-2 웨이퍼 스테퍼에는 정렬 정확도와 생산 처리량 향상을 위해 DSAM (Double Swing Arm Mounting Method) 이 장착되어 있습니다. DSAM 시스템은 구성 요소 정확도가 우수한 인체 공학적 오버 헤드 암 (ergonomic overhead arm) 과 조정 가능한 관절이있는 정밀 공학적 기본 레벨 암 (base-level arm) 으로 구성됩니다. 이 제품은 정확한 3축 동작 제어, 고해상도 광학 이미징, 웨이퍼 칩의 자동 정렬 (automated alignment) 을 결합하여 매우 정확한 오버레이 정렬 작업을 수행합니다. PL-2 웨이퍼 스테퍼는 빠르고 정확하며 쉽게 작동하는 웨이퍼 정렬을 위해 RAS (Reflex Alignment System) 를 사용합니다. 스테퍼 성능의 추가 개선을위한 와퍼 내 (intra-wafer) 로봇과 풀 필드 스캔 및 정렬을 위해 시야를 가로 질러 웨이퍼를 움직이는 다이렉트 드라이브 (direct-drive) 로봇 액추에이터가 특징입니다. 또한 RAS는 이중 노출에 대한 우수한 결과를 제공하며, 중요한 프로세스 계층에 대해 최대 ± 3m까지 직접 오버레이 정밀도를 제공합니다. NIKON PL-2 웨이퍼 스테퍼는 파인라인 이미징 응용 프로그램에서 트랜지스터 및 커패시터 레벨 장치를 제조 할 수 있습니다. 고속 및 고정밀 작업을 모두 지원하며, 해상도는 최대 0.25m이며, 크기는 최대 6m입니다. 또한 자외선에서 장파 적외선 (long wave infrared) 에 이르기까지 다양한 노출 파장 열을 제공하여 다양한 파장 응용 프로그램을 수용합니다. PL-2 웨이퍼 스테퍼 (PL-2 wafer stepper) 는 화면 상의 프로세스 제어 기능을 통해 고급 모니터링 기능을 제공하여 실시간 프로세스 상태 및 성능 데이터를 볼 수 있습니다. 이 시스템은 또한 다양한 예방 유지 관리 프로그램을 통해 장기적인 유지 관리 및 안정성을 제공합니다. 또한, 환경 디자인은 먼지가없는 챔버 (chamber) 와 단단한 공간에서 효과적으로 사용하기 위해 최소한의 발자국을 갖추고 있습니다.