판매용 중고 NIKON Opto 300 #9274316

NIKON Opto 300
ID: 9274316
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2004
System, 12" 2004 vintage.
NIKON Opto 300은 웨이퍼 스테퍼로, 특히 반도체 패턴 응용 프로그램의 생산성을 높이기 위해 설계되었습니다. 주요 기능을 통합하여 고급 첨단 장치 (예: 높은 패턴 처리량, 해상도) 를 생산할 수 있도록 합니다. Opto 300은 NIKON 독점 MOVGS (Multi-Operation Variable Grid Scan) 기술을 통합하여 다양한 용량과 샘플링에 걸쳐 고해상도 패턴을 생성합니다. 또한 통합 2 개의 작업 (패턴 생성 및 정렬), 1 개의 작업 (저용량 패턴) 웨이퍼 처리 기능이 있습니다. 이것은 고성능 z-soaking 및 smoothing 기능을 제공합니다. NIKON Opto 300은 또한 확장 된 패턴 기능이 0입니다. 2 ~ 8mm, 전체 칩 노출, 확장된 X, Y 및 Z 패턴 이동으로 더 빠르고 부드러운 패턴화 이 제품은 NIKON 고급 광학 및 이미징 시스템 (Imaging Systems) 을 활용하여 높은 수준의 비연산성과 균일성을 보장하며, 자동화된 패턴 및 정렬 알고리즘은 수율을 더욱 최적화합니다. Opto 300은 높은 정확도의 흔들림 단계, 대형 표면 스캐너, 사전에 정렬 된 공기 베어링 (air bearing) 등 다양한 고급 단계를 활용하며, 모두 고정밀도, 대규모 패턴 노출이 가능합니다. NIKON Opto 300의 자동 웨이퍼 처리 및 스테이지 모션 시스템은 원활한 작동을 보장합니다. 노출 시간은 NIKON 효율적인 포커스 제어 시스템 (focus control system) 을 통해 단축되며, 각 웨이퍼 내에서 모든 다이에 대한 최적의 포커스를 유지합니다. Opto 300에는 대화형, 직관적인 사용자 인터페이스가 포함되어 있어 간편하고 문제 없는 패턴을 만들 수 있습니다. 또한 고급 프로세스 분석 (Advanced Process Analysis) 및 항복 개선 (Yield Improvement) 을 위한 다양한 검사 프로세스를 지원하므로 고밀도 패턴화 요구 사항을 완벽하게 충족할 수 있습니다. 이 기능은 NIKON 지원 센터 (NIKON Support Center) 의 원격 기술 서비스 플랫폼에서 추가로 보완되며, 이를 통해 고객은 맞춤식 기술 지원을 받을 수 있습니다. 결국, NIKON Opto 300 웨이퍼 스테퍼는 고정밀 패턴을 생산하고 생산성을 높여야 하는 기업에 이상적인 솔루션입니다. 고급 스테이지, 고급 옵틱 (Optic), 이미징 시스템은 계산 불능, 균일성을 제공하는 반면, 자동 패턴화 및 정렬 알고리즘은 수익률을 최적화합니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (User Interface) 와 원격 기술 지원 (Remote Technical Support) 을 통해 고객은 시스템 성능을 극대화할 수 있습니다.
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