판매용 중고 NIKON Opto 200 #9389850

NIKON Opto 200
ID: 9389850
웨이퍼 크기: 4"
빈티지: 2004
Systems, 4" 2004 vintage.
NIKON Opto 200은 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 로 파장 325nm로 작동하는 포토 리토 그래피 장비 유형입니다. 반도체 제작에서 실리콘 집적 회로가 포함 된 웨이퍼로 회로 패턴을 전달하는 데 사용됩니다. 오토 200 (Opto 200) 은 포토 마스크 (photomask) 가 웨이퍼 위에 놓이기 전에 집적 회로를 서로 분리하는 자동 시스템입니다. "마스크 '는" 웨이퍼' 에 옮길 수 있는 집적 회로 원소 의 본 이 있는 투명 한 시트 이다. 웨이퍼 스테퍼가 작동 될 때, 수은-제논 램프의 빛은 포토 마스크 (photomask) 의 한쪽에 광학적으로 집중된다. "마스크 '반대편 의" 렌즈' 는 이 빛 을 "웨이퍼 '에 투영 한다. 전동식 웨이퍼 스테이지 (Motorized Wafer Stage) 는 마스크와 관련하여 평면에서 웨이퍼를 이동함에 따라 높은 정밀 이미지를 얻을 수 있습니다. NIKON Opto 200은 뛰어난 이미지 품질을 보장하는 고급 이미징 기술을 갖추고 있습니다. 전중파 조명기 (Telecentric Illuminator) 를 사용하여 전체 노출 영역에 대한 일관된 초점 확보 및 단계 이동 마스크 (Phase Shift Mask) 를 사용합니다. 이 마스크는 화상 영역 상에서 조명의 강도를 균등하게 제어하기 위해 Photomask에 특별히 새겨져 있습니다. 가변 슬릿 조리개 장치는 또한 더 높은 해상도의 이미징을 허용합니다. Opto 200의 다른 고급 기능에는 광학 수차를 최소화하고 작은 요소 크기 이미징을 용이하게하는 멀티 아이리스 다이어프램 (multi-iris diaphragm) 이 포함됩니다. 이 기계는 또한 광선을 줄이고, 이미지의 명암비를 증가시키는 편광 (polarization) 기술을 사용합니다. NIKON Opto 200 (Opto 200) 은 검증되고 신뢰할 수 있는 툴로, 업계에서 탁월한 성능과 정확성으로 인정 받고 있습니다. 자산은 매우 안정적이며, 일상적인 작업을 통해 안정적이고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 탁월한 정렬 모델을 갖추고 있으며, 전력 소비량이 매우 적고, 전체 디바이스에 대한 정확한 포지셔닝 기능을 제공합니다 (영문). 전체적으로 Opto 200은 뛰어난 웨이퍼 스테퍼로, 높은 정확도로 안정적이고 반복 가능한 결과를 제공합니다. 고급 이미징 (Advanced Imaging) 기술을 통해 뛰어난 이미지를 제작할 수 있으며, 안정성과 낮은 전력 소비를 통해 자동 사진 해설을 위한 업계 표준 툴이 될 수 있습니다.
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