판매용 중고 NIKON Opto 200 #9274315

NIKON Opto 200
ID: 9274315
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2004
System, 8" 2004 vintage.
NIKON Opto 200은 프로세스 제어 및 효율성을 향상시키기 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장비는 1X ~ 5X 감소 광학 리소그래피용으로 설계되어 소형 웨이퍼 이미징에 적합합니다. 이 기계는 더 작은 필드와 다양한 응용 프로그램의 더 큰 필드를 수용 할 수 있습니다. Opto 200에는 최대 18mm의 웨이퍼 두께를 처리 할 수있는 고해상도 수직 (vertical) 스테이지가 장착되어 있습니다. 이 수직 단계는 고급 웨이퍼 처리에 대한 빠른 속도와 정확성을 제공합니다. 이 시스템은 또한 직경이 큰 렌즈와 완전하게 자동화된 웨이퍼 처리 장치 (wafer-handling unit) 를 갖추고 있어 처리 속도와 정확성을 높입니다. NIKON Opto 200은 고급 정렬 및 열 제어 하위 시스템으로 인해 정확하고 정확합니다. 이 기계의 패턴 정밀도는 0.2 미크론 (미크론) 의 순서로, 패턴 품질과 반복성이 뛰어납니다. 또한, 이 도구는 시간당 최대 40 개의 웨이퍼로 빠른 속도로 패턴화할 수 있습니다. 이 자산은 또한 사용자에게 친숙한 그래픽 인터페이스 (Graphical Interface) 를 제공하여 사용자는 시스템을 제어하고 이미지를 실시간으로 볼 수 있습니다. 이 인터페이스를 통해 사용자는 모델에 저장할 20 개 이상의 프로세스를 생성할 수 있습니다. 또한, 같은 크기 나 모양의 반복 프로세스를 빠르게 프로그래밍 할 수 있습니다. Opto 200은 6x6인치 쓰기 필드 크기, 2축 그리드, 자체 정렬 자동 스캔을 사용하여 더 작고 복잡한 패턴을 만들 수 있습니다. 이 장비는 또한 굴절 크롬 온 글라스 렌즈 (chrome-on-glass lens) 를 사용하여 반복 가능한 내열 렌즈 패턴과 반복 가능한 투명 석판화 노출을 실행할 수 있습니다. 또한 이 시스템은 운영 기능 외에도 대용량 카트리지를 제공하여 최대 99 개의 웨이퍼를 수용할 수 있습니다. 이 장치 는 또한 여러 가지 화학 물질 과 호환 되며, 그 로 인해 감광제, 용제, 기타 재료 들 을 인쇄 할 수 있다. 전반적으로, NIKON Opto 200은 더 짧은 처리 주기에서 정확하고 반복 가능한 패턴을 원하는 사람들을위한 뛰어난 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 기계는 고급 정렬 (Advanced Alignment) 및 열 제어 (Thermal Control) 하위 시스템으로 인해 높은 수준의 정확성과 반복성을 제공합니다. 또한 사용자 친화적 인 그래픽 인터페이스 (Graphical Interface) 는 시스템을 제어하고 볼 수 있도록 완벽하고 사용하기 쉬운 플랫폼을 제공합니다.
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