판매용 중고 NIKON / NTS NSR-2150 #293650967

NIKON/NTS NSR-2150은 반도체 웨이퍼 제작에서 주로 리소그래피 프로세스에 사용되는 고정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 이중 노출 스텝 앤 리피트 원리에서 작동하며 1/2의 오버레이 정확도 (1/2) 에서 0.3 m까지 해상도를 제공합니다. 이 기계는 컴팩트하지만 다재다능하며, 고속 0.275 초 레티클 교환 장비 및 스테이지 히터에 대한 '지능형' 히터 제어를 포함한 전력 절약 디자인이 특징입니다. NTS NSR-2150은 긴 수명 6 'F2.4 광 시스템 및 트윈 접안경을 사용하여 일관성을 보장합니다. 이 장치는 또한 수동 초점이 가능하며, 436 nm의 파장에서 1 차 원격 중심의 해상도를 가지며, 1/2 "m 오버레이 정확도와 0.4" m 에지 검출 정확도를 달성합니다. 스테퍼의 스테이지는 최대 스트로크 300 × 300mm이며, 정확도가 높은 디지털 광학 인코더 및 온도 센서가 장착 된 디지털 제어 (digital-controlled) 이동식 스테이지에 의해 구동됩니다. 자동 홈, 스테이지 오류 수정 및 조정 가능한 스핀들도 포함됩니다. 스테이지의 축 컴포넌트는 대칭 구성으로 설정되어 정밀하고 동시 X/Y 동작을 보장합니다. NIKON NSR-2150은 rotate, mirror 및 Asymmetric Multiple Inverse Scan과 같은 다양한 알고리즘으로 복잡한 패턴 노출을 처리하도록 설계되었습니다. 또한, 가변 프로그래밍 가능 기능 수정 및 동적 플레어 보상 (dynamic flare compensation) 과 같은 샷 노출을 개선하기 위해 몇 가지 렌즈 보정 및 보상 기능을 사용할 수 있습니다. 스테퍼에는 그래픽 지향 사용자 인터페이스 (graphics-oriented user interface) 가 있어 시스템을 보다 쉽고 직관적으로 작동시킵니다. NSR-2150 은 1 천만 발의 설계 수명을 통해 신뢰성이 높으며, 국제 성능 및 안전 표준에 따라 ISO 인증을 받았습니다. 또한, 스테퍼에는 과거 프로세스를 추적, 저장, 검토할 수 있는 이벤트 로그가 내장되어 있어 데이터 무결성 (Integrity) 및 제품 품질을 모두 보호합니다. 결론적으로, NTS-2150 은 최신 반도체 웨이퍼 제작에 필요한 기능과 기능을 갖춘 강력하고 정확한 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 제품은 빠르고, 안정적이며, 비교적 사용하기 쉽기 때문에, 보다 효율적이고, 비용 효율적이며, 고정밀도 높은 집적회로 제조가 가능합니다.