판매용 중고 NIKON NSR #293819945

NIKON NSR은 집적 회로를 효율적으로 생산할 수있는 고급 웨이퍼 스테퍼 장비입니다. 레티클 (reticle), 모션 제어 장치 (motion control unit) 및 완전 컴퓨터 제어 광학 머신을 결합한 완전한 패턴 생성 시스템입니다. NSR은 0.25 NA 프로젝션 옵틱과 CCD 카메라를 사용하여 광범위한 IC 생산을 위해 칩 레벨 생산을 달성 할 수 있습니다. 이 도구는 6 도의 자유와 1.5 dm의 정확도로 붐 타입 레티클 스테이지를 사용합니다. 레티클 단계 (reticle stage) 는 생산 과정 전반에 걸쳐 높은 정밀도와 정밀도를 보장하도록 설계되었습니다. 또한, 환경 제어 모델과 결합 된 위치 제어 자산 (position control asset) 은 안정적인 환경을 보장하고 생산 주기 동안 소음 수준을 최소화합니다. 이 장비는 또한 NAD (NIKON Adjustment Method) 를 통합하여 기계의 기계적 밸런스뿐만 아니라 광 시스템의 자동 조정을 보장합니다. 이를 통해 패턴 이미징의 정확성이 더욱 높아집니다. NIKON NSR은 또한 하나의 이미징 주기에서 하나의 웨이퍼에 여러 개의 칩을 스텝하는 등 다양한 응용 프로그램 시나리오를 지원하는 NIKON NSR (Step-and-Repeat) Unit (NSR) 을 자랑합니다. 기계의 광학은 2 개의 오프 축, 2 개의 축축, 1 개의 수차 교정기 및 1 개의 안전 렌즈로 구성됩니다. 이 구성은 다양한 작업 거리로 뛰어난 이미징 성능을 제공합니다. 이 도구에는 지속적인 셀 (cell) 광학 자산이 장착되어 있어, 노출 시간이 단축되고 생산성이 높은 고속 패턴 이미징 (pattern imaging) 이 가능합니다. NIKON NSR 웨이퍼 스테퍼는 최적의 프로세스 통합을 위해 설계되었습니다. 하드웨어 모델 점검, 정렬, 기계적/광학적 튜닝 (mechanical/optical tuning) 등 완전 자동화된 운영 주기를 제공할 수 있습니다. 또한, 이 장비는 광범위한 패턴 수정 알고리즘 (pattern correction algorithm) 을 지원하며, 생산 과정에서 노출 설정을 조정하는 기능도 지원합니다. 전반적으로 NSR 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 높은 정확도와 생산성으로 효율적인 IC 운영 주기를 가능하게 합니다. "칩 '수준의 생산에 이상적인 선택이 되며, 반도체 업계에서 계속해서 뛰어난 성능과 품질을 제공한다.