판매용 중고 NIKON NSR #293668735

NIKON NSR은 반도체 제작 프로세스에 사용되는 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 도구는 니콘 (NIKON) 이 개발 한 석판 투영 스테퍼로, 얇고 심지어 웨이퍼에서 35 nm까지 작은 기능을 정확하게 제작 할 수 있습니다. 스테퍼 제어가 최적화되어 있으며 안정적인 플랫폼에서 작동합니다. 이 스테퍼는 뛰어난 패턴 오버레이, 패턴 배치 정확도 및 반복 가능성을 제공합니다. NSR (Integrated Reflective Imaging Optic) 과 다양한 수치 조리개가 특징이며, 뛰어난 처리량을 제공하는 고해상도 패턴을 제공합니다. 또한, 이 기능을 사용하면 쉽고 안정적인 방법으로 마스크 결함을 감지할 수 있습니다. 스테퍼는 고성능, 장기 안정성, 조절 가능한 스팟 사이즈를 제공하며, 이는 패턴 요소 픽셀화를 지원합니다. 일관성 있는 성능과 수익률을 보장하기 위해 NIKON NSR 은 자가 보정 웨이퍼 (self-calibrating wafer) 단계를 갖추고 있으며, 이는 조명기와 웨이퍼 사이의 거리를 정확하게 측정 할 수 있습니다. 이 장비는 또한 제조 공정 (fabrication process) 에서 웨이퍼를 정확하게 포지셔닝하기 위해 고효율의 모터 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 스테퍼는 또한 서보 교정 장치 (Servo Correction Unit) 를 통합하여 패턴 작업 중에 신속한 교정을 할 수 있습니다. 또한, NSR은 또한 정밀 히터 및 온도 조절 제어를 갖춘 고성능 온도 제어 기계를 가지고 있으며, 이는 20 ~ 50 'C 범위의 웨이퍼 온도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 기능은 또한 유지 관리를 줄이고 패턴 처리 과정에서 열 드리프트를 제거합니다. 또한, 스테퍼는 SynchroScan 도구를 사용하여 단기간에 여러 웨이퍼를 신속하게 처리합니다. 이 자산은 또한 사용자가 미리 매개변수 (parameter) 를 조정하고 웨이퍼 (wafer) 크기를 빠르게 조정할 수 있도록 함으로써 뛰어난 자동화 (automation) 지원을 제공합니다. 전반적으로 NIKON NSR은 고성능 석판화 프로젝션 스테퍼로, 뛰어난 반복성과 프로세스 제어를 통해 패턴화된 마이크로 구조를 정확하고 신속하게 제작할 수 있습니다. 이 툴은 매우 작은 부품과 웨이퍼 (wafer) 제작을 위한 경제적이고 안정적인 솔루션을 제공합니다.