판매용 중고 NIKON NSR #293601737

제조사
NIKON
모델
NSR
ID: 293601737
Stepper.
NIKON NSR은 고급 반도체 처리의 미크론 레벨 리소그래피 요구 사항을 위해 설계된 완전한 기능의 웨이퍼 스테퍼입니다. NSR 은 최첨단 석판화 장비로, 고해상도 이미징, 뛰어난 성능, 유연한 처리 기능을 제공합니다. 이 시스템은 고해상도, 각인 투영 렌즈, 고정밀 선형 모터 포지셔닝 스테이지, 고급 정밀 서보 포지셔닝 장치 (Advanced Precision Servo Positioning Unit) 로 구성된 고급 아키텍처를 기반으로 합니다. 다단계 이미징 광학 시스템을 활용하는 NIKON NSR 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 요구 사항에 관계없이 매우 정확하고 정의된 이미지를 웨이퍼에 생성할 수 있습니다. 공구의 해상도는 0.5nm이며, 표준 편차 0.05 미크론으로 정확도도 엄청납니다. 이러한 모든 요인으로 인해 NSR 은 최첨단 반도체 운영 애플리케이션에 이상적인 선택이 됩니다. NIKON NSR (Optimized Wafer Registration with NIKON NSR) 은 고급 계산 엔진을 통해 보장되며, 이는 마스크 또는 노출 중에 발생할 수 있는 모든 열 확장을 자동으로 보완합니다. 이는 나노 미터 수준에서 뛰어난 이미징 성능을 보장합니다. 또한 NSR은 클릭-스톱 파인 포커스 노브, 소프트웨어 제어 스테이지 컨트롤, 직접 다중 확대 기능, 자동 영역 오버랩 정렬, 반사 기판용 자동 초점 기능, 처리량 향상을 위한 이미지 루핑 등 다양한 사용자 친화적 기능을 지원합니다. 이 솔루션은 대용량 운영 애플리케이션을 위한 완벽한 솔루션으로, 매우 정밀한 이미징 요구 사항을 필요로 합니다. NIKON NSR 의 첨단 전자 추적 자산 (Advanced Electronic Tracking Asset) 은 자동 드리프트 제어를 통해 스캐닝 단계 간의 작은 움직임을 보완하여 노출 결과의 뛰어난 반복성을 보장합니다. 또한 NSR 은 최대 8,000mm/sec 의 스캔 속도로 빠르고 효율적으로 수행합니다. 전반적으로 NIKON NSR은 탁월한 성능, 뛰어난 이미지 품질, 신뢰할 수 있고 반복 가능한 결과를 제공합니다. 매우 다양한 기능을 갖춘 NSR은 최첨단 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 모델로, 최첨단 석판화 (Lithography) 애플리케이션에 적합합니다.
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