판매용 중고 NIKON NSR-TFH i14 DL #9023488
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판매
ID: 9023488
i-Line stepper, 6"
Body: i14
Wafer thickness: 1.2mm
Wafer type: Notch
Loader type: 3
Controller: VAX
GEM: Yes
Numerical aperture: 0.3-0.45
Lens data:
Distortion spec +/- 40nm
TFD spec 0.5um
AST spec 0.4um
Curvature spec 0.4um
-Pre data collection before lens optimization.
-Distortion ID1
Max vector X= 65nm, Y=51nm
Min vector X= -87nm, Y= -60nm
Reduction= 0.823
- INC ID1
TFD = 0.726
AST= 0.359
Curvature= -0.251
-Distortion ID9 (map is similar to ID1)
Max vector X= 67nm, Y=65nm
Min vector X= -69nm, Y= -57nm
Reduction= -0.742
Post data after lens optimization:
-INC ID1
TFD = 0.403
AST= 0.240
Curvature= 0.028
-Distortion ID1
Max vector X= 0.024nm, Y= 0.025nm
Min vector X= -0.043nm, Y= -0.042nm
Reduction= -0.323
-Distortion ID9
Max vector X= 43nm, Y= 32nm
Min vector X= -37nm, Y= -34nm
Reduction= 0.270
Main body is not crated
FC77 oil is in the chem support
Accessories included
Deinstalled by OEM
No lens data were collected prior to deinstall
Currently crated.
NIKON NSR-TFH i14 DL은 반도체 장치 제작을 위해 리소그래피 프로세스를 수행하도록 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 업계 최고의 정확성과 정확성을 갖춘 고정밀 석판화 프로세스를 제공하기 위해 제작되었습니다. NIKON NSR TFH I14DL에는 뛰어난 리소그래피 결과를 제공하는 데 도움이되는 여러 가지 고급 기능이 있습니다. 설계에는 4 축 계단 변형 스캔 및 자동 레벨 링 기능이있는 고급 레티클 스테이지 (reticle stage) 가 포함되어 있어 빠르고 신뢰할 수 있습니다. 또한 이미징 분야 전반에 걸쳐 조명 균일성을 향상시키기 위해 고급 이미징 필드 플랫 렌즈 (flattening lens) 를 포함합니다. 통합 뒷면 정렬 시스템은 정확한 웨이퍼 정렬 및 오버레이 정확도를 보장합니다. NSR-TFH i14 DL은 뛰어난 해상도 기능으로 최대 4 마이크로미터의 이미지를 노출시킬 수 있습니다. 결과는 뛰어난 초점 깊이로 매우 정확합니다. 고급 광학 및 조명 시스템 (Advanced Optics and Illumination System) 은이 웨이퍼 스테퍼를 복잡한 기판에서 가장 작은 구조조차도 정렬하는 데 효과적입니다. 독점적 인 DUV (Deep Ultraviolet) 기능을 통해 가장 어려운 기능으로도 이미지를 노출시킬 수 있으며, 뛰어난 명암으로 선명한 이미지를 제공합니다. NSR TFH I14DL 의 강력한 구축을 통해 기본/주변 장치 성능 저하 없이 수명을 연장할 수 있습니다. 자체 RPC 모델링 언어와 복잡한 소프트웨어 인터페이스로 구축된 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 뛰어난 유연성을 제공하며 다양한 처리 요구 사항에 따라 사용자 정의할 수 있습니다. NIKON NSR-TFH i14 DL은 복잡한 리소그래피 프로세스에서도 주기 시간을 줄이고 처리 시간을 단축할 수 있도록 지원합니다. 균등하고 정확한 빔 프로파일 (beam profile) 과 빔 파워 (beam power) 를 제공하여 웨이퍼 처리 시간이 짧아 뛰어난 프로세스 균일성을 제공합니다. 탁월한 하드웨어/소프트웨어 기능을 통해 TCO (총소유비용) 를 절감하는 한편, 최고 품질의 기판을 사용할 수 있습니다. 전반적으로 NIKON NSR TFH I14DL은 장치 제작을 위해 설계된 강력하고 안정적인 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급 광학, 레티클 스테이지 및 조명 시스템을 통해 뛰어난 영상과 고품질 리소그래피 결과를 얻을 수 있습니다. 자체 RPC 모델링 언어와 복잡한 소프트웨어 인터페이스 (Software Interface) 로 구축된 Wafer Stepper는 특정 애플리케이션 요구 사항에 맞게 구성 및 사용자 정의가 용이합니다.
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