판매용 중고 NIKON NSR TFH i12 #9197998

NIKON NSR TFH i12는 반도체 장치의 제작을 돕기 위해 NIKON이 개발 한 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 웨이퍼 스테퍼는 반도체 업계에서 매우 정밀하고 높은 생산성 리소그래피 (lithography) 어플리케이션을 위해 설계되었습니다. 고해상도 (High Resolution), 고해상도 (High Throughput), 고해상도 (High Aspect Ratio) 리소그래피 대상과의 호환성을 결합하여 다양한 디바이스 구성 프로세스에 적합합니다. NIKON NSR-TFHI12에는 Scanning과 Step 및 Repeat의 두 가지 작동 모드가 있습니다. 스캐닝 (Scanning) 모드에서는 패턴이 포함된 레티클이 웨이퍼 서피스를 가로질러 차례로 스캔됩니다. 패턴은 스캐너의 각 패스로 웨이퍼에 노출됩니다. [단계] 및 [반복] 모드에서는 웨이퍼의 여러 부분에 단일 이미지가 표시됩니다. 그런 다음, 노출물 사이에서 웨이퍼를 이동하여 연속적인 노출이 모두 미리 결정된 배율과 베이스-베이스 변위 (base to base displacement) 에 의해 관련된다. 성능을 극대화하기 위해 NSR TFH i12 에는 다양한 고급 기능이 장착되어 있습니다. 한 가지 주요 특징 은 "웨이퍼 '자동 장전" 시스템' 인데, 이것 은 "웨이퍼 '의 오정 과 오해 를 줄이기 위한 것 이다. 또한 스테퍼에는 높은 정밀도, 높은 정밀도 스테이지 검색, 인라인 스캐닝 (inline scanning) 또는 최고의 노치 정확도 및 처리량을 보장하는 즉석 레티클 포지셔닝 (on-the-fly reticle positioning) 등 다양한 정렬 옵션이 있습니다. 또한, 최고의 초점과 이미지 균일성을 달성하기 위해 자동 초점 및 Astigmatism 보정을 제공합니다. NSR-TFHI12 의 통합 환경은 각 Wafer 에 대해 빠르고 정확한 프로세스 제어, 기능별 제어 기능을 제공합니다. 최적화, 고급 결함 검토, 기술 레시피 기반 레시피 (recipe-driven recipe) 등 다양한 노출 기술을 사용할 수 있습니다. 이 스테퍼는 또한 디지털 현미경 (digital microscope) 을 포함하여 운영자가 높은 배율과 해상도로 각 레티클의 패턴을 검사 할 수 있습니다. 마지막으로, NIKON NSR TFH i12 는 실시간으로 생산할 수 있도록 설계되었으며, 비용 효율이 높지만 비용 효율성이 높은 과제를 해결합니다. 또한 기존 운영 환경에 손쉽게 통합할 수 있으며, 시간 (time) 을 절약하고 원활한 운영을 지원합니다. 전체적으로 NIKON NSR-TFHI12는 비용 효율적인 웨이퍼 스테퍼 솔루션을 위한 탁월한 선택입니다.