판매용 중고 NIKON NSR TFH EX14C #9356069

NIKON NSR TFH EX14C
ID: 9356069
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2001
KrF Stepper, 6" 2001 vintage.
NIKON NSR TFH EX14C는 마이크로 일렉트로닉스 제조 공정에 사용되는 반도체 석판 도구 인 웨이퍼 스테퍼입니다. 특수 웨이퍼에 다양한 유형의 microcircuitry 구성 요소를 생산하도록 설계되었습니다. EX14C 는 통신센터 렌즈 (telecentric lenses) 와 스캔 정렬 (scan align) 시스템의 조합을 활용하여 고유한 광 정렬 장비를 사용합니다. 이 정렬 장치 (Alignment Unit) 는 소수점 (Minuscule) 피쳐의 패턴을 웨이퍼에 배치할 때 뛰어난 정확성과 반복성을 제공합니다. EX14C는 관련 다중 레벨 구조뿐만 아니라 14nm (fine) 의 기능을 생산할 수 있습니다. 이것은 니콘 (NIKON) 독점 및 렌즈 시스템 (lens system) 과 파장 13nm 크기의 빛을 생성 할 수있는 광원을 사용하여 수행됩니다. 최신형 조명광학 (Optic) 을 활용하면, EX14C는 이미지 충실도가 가장 높은 더 복잡한 패턴을 만들 수 있습니다. 스테퍼 자체는 견고한 기계식 디자인을 기반으로하며, 견고한 교량 (bridge-like) 구조로 뛰어난 안정성과 견고성을 제공합니다. 이러 한 강성 때문 에, 다른 반도체 리소그래피 "시스템 '에서 흔히 볼 수 있는 바 와 같이," 패턴' 의 오정 의 위험 없이 극히 높은 해상도 에서도 수행 할 수 있다. 또한 EX14C 의 움직이는 단계는 매우 빠르고 정확하므로, 보다 정확하고 높은 처리량을 달성할 수 있습니다. 또한, EX14C는 광범위한 웨이퍼를 수용 할 수 있으므로, 매우 유연합니다. 이 스테퍼는 또한 사용자 친화적이고 신뢰할 수있는 혁신적인 웨이퍼 처리 장치 (wafer handling machine) 를 갖추고 있습니다. 이 사용자 친화적 인 설계를 통해 웨이퍼를 쉽게 로드하고 언로드할 수 있으며, 오염과 손상을 최소한으로 유지할 수 있습니다. 결론적으로 NIKON NSR TFHEX14C는 반도체 제작 프로세스에 적합한 라인 리소그래피 도구의 상단입니다. 이 제품은 정밀 옵틱, 견고한 기계식 설계, 유연한 웨이퍼 처리 (wafer handling) 시스템을 결합하여 고성능 어플리케이션을 위한 이상적인 선택입니다. 고해상도 (High-resolution) 기능과 빠른 처리 속도를 자랑하는 EX14C 는 반도체 웨이퍼 (Wafer) 에 미세한 기능을 생산할 수 있는 매우 효율적이고 안정적인 툴입니다.
아직 리뷰가 없습니다