판매용 중고 NIKON NSR TFH 2 #9206223

NIKON NSR TFH 2는 반도체 생산에서 리소그래피 업무를 수행하도록 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 고도의 인스루프 (inthroughput) 와 신뢰성을 갖춘 고정밀도 제작이 가능한 스텝 앤 리피트 (step-and-repeat) 사진 분석 장비를 사용합니다. 소형 "디자인 '은" 웨이퍼 스테이지' 의 수송 및 이동 을 가능 케 하는 자동화 된 "트랙 '장치 를 갖춘 작은 설치 공간 을 가능 케 한다. TFH 2는 최대 200mm 크기의 기판을 처리 할 수 있으며 다양한 수치 조리개 "NA" 광학 장치를 특징으로합니다. 이를 통해 마이크로 (micro) 및 나노 (nano) 크기의 제작에 적합한 뛰어난 이미징 해상도를 제공 할 수 있습니다. NA 성능이 높은 침수 액체 렌즈 머신, 자외선 초고출력 레이저 광원, 스캐닝, 패닝, 세미필드 스티칭을 위한 고속 광학 이동을 통해 처리량을 향상시킵니다. TFH 2에는 퓨전 이미징 도구 (fusion imaging tool) 와 정교한 정렬 시스템이 장착되어 있어 매우 정확한 패턴 배치를 제공합니다. 또한 스티치 문제 (stitching problem) 와 반복 가능한 초점면 조정을 방지하기 위해 다중 노출 (multiple exposure) 및 스캐닝 중첩 (scanning overlap) 과 같은 기능이 포함됩니다. 스테퍼에는 메모리 장치, 디스플레이 장치, 고성능 아날로그, 디지털 응용프로그램 등에 적합한 높은 수준의 패턴 해상도 (pattern resolution) 가 있습니다. 또한 TFH 2는 낮은 유지 보수 (low-maintenance) 기능 향상을 위해 설계되었으며, 수동 조정 및 조정 용이성이 최소화됩니다. 또한 자동 검사 (Automatic Inspection) 기능을 통해 모든 컴포넌트가 적절하게 정렬되고 보정되며, 사용자 정의 가능한 사용자 설정으로 생산성 및 효율성이 향상됩니다. 편리한 유지 보수/데이터 교환 인터페이스를 통해 자산 구성요소를 실시간으로 관찰하고 제어할 수 있습니다. 이러한 기능은 함께 작동하여 업계 최고의 웨이퍼 프로세스 성능을 제공합니다.