판매용 중고 NIKON NSR TFH 2 #9205047

NIKON NSR TFH 2는 최첨단 반도체 장치 제작의 가장 까다로운 석판화 요구 사항을 충족하도록 설계된 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 하위 파장 정렬 정확도 0.5nm로 매우 고해상도, 정확한 스테이지 동작을 제공합니다. 모션 장비는 듀얼 스테이지 모듈 (X-Y 및 Z축) 이있는 하이엔드 리니어 모터를 사용하여 포지셔닝 동작을 정확하게 제어합니다. Wafer Stage 및 Exposure 시스템에는 최고 수준의 데이터 수집 및 포지셔닝 구성 요소가 장착되어 있어 Wafer 이동을 완벽하게 제어할 수 있습니다. 웨이퍼 스테퍼는 강력한 프로그래밍 가능한 스마트 컨트롤러 (Smart Controller) 에 의해 구동되며, 고급 산업 자동화 시스템과의 완벽한 통합을 제공합니다. 강력한 데이터 획득 및 융합 기술을 통해 컨트롤러는 센서, 머신 비전 (machine vision), CNC 컨트롤, 비전 시스템, 3D 스캔 등 다양한 소스에서 데이터를 쉽게 추출할 수 있으므로 개별 구성 프로세스에 걸쳐 단위 수준 최적화 및 통합이 가능합니다. 컨트롤 머신은 고성능 SWLI (Scanning White-Light Interferometry) 도구와 통합되어 웨이퍼 스테이지의 정확하고 정확한 정렬 및 위치를 지정합니다. NSR TFH 2의 레이저 정밀 빔 광학 모듈은 리소그래피 프로세스의 하위 파장 해상도를 보장하는 반면, 고급 이온 및 전자 광학 모듈은 픽셀 정확하고 높은 명암비 리소그래피를 제공합니다. PSM, LCD, BD 및 DMDM 제품을 포함한 다양한 포토 마스크 유형을 지원합니다. 또한, 광학 송신기 모듈에는 적응 형 광학 교정 자산 (optic correction asset) 이 포함되어 광학 경로의 수차를 보상합니다. 또한, 이 장치는 다양한 유연한 광학 스펙트럼 (optical spectra) 으로 사용 가능하며, 광범위한 노출 파장 내에서 뛰어난 성능을 제공합니다. 다용도 이미지 센서 어레이는 안정적인 노출 제어, 뛰어난 이미지 품질 제어 기능을 제공합니다. 또한 NIKON NSR TFH 2 는 초고속 데이터 인터페이스를 통해 시스템 제어 (machine-control) 데이터 전송 및 조작과 더불어 보다 빠른 데이터 통신을 위한 고대역폭 접속을 지원합니다. 이렇게 하면 각 작업을 완료하는 데 걸리는 시간이 단축되고 처리 속도가 빨라집니다. 이 시스템은 또한 다양한 패턴 데이터 유형 (pattern-data type) 과 형식 (format) 을 지원하므로 데이터를 보다 쉽게 관리하고 전송할 수 있습니다. NSR TFH 2는 매우 정확하고 강력한 웨이퍼 스테퍼로, 최고 품질의 리소그래피로 최첨단 반도체 장치 제작 프로세스를 지원할 수 있습니다. 하위 파장 정렬 정확도, 웨이퍼 동작에 대한 정확한 제어, 신뢰할 수있는 이미지 품질을 제공 할 수 있습니다. 하이엔드 Optics 및 데이터 통신 기능은 그 매력을 더욱 강화합니다.