판매용 중고 NIKON NSR SF200 #293597490

NIKON NSR SF200
ID: 293597490
i-Line stepper.
NIKON NSR SF200 은 반도체 디바이스의 조립 및 제조에 매우 효율적이도록 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 오늘날 시장에서 가장 발전된 웨이퍼 스텝퍼 (Wafer Stepper) 중 하나로 설계되었습니다. 단일 단계 감소 아키텍처는 웨이퍼 처리 속도를 높여 높은 처리량과 뛰어난 성능을 보장합니다. NIKON NSR SF 200은 125mm 직경의 기판 단계를 특징으로하며, 이는 단일 단계 감소 장치에서 가장 큰 것입니다. 이를 통해 오버레이 정확도가 우수한 고밀도 패턴을 노출 할 수 있습니다. Photon은 NIKON DSR (Double-Stage Reduction) 머신을 모델로 제작되었으며 평면이 아닌 표면을 처리할 수 있습니다. CFM248 노출 헤드에는 200W 할로겐 전구가 장착되어 있으며, 웨이퍼 응용 프로그램에 저렴한 조명을 제공합니다. NSR SF200 웨이퍼 스테퍼는 FWD Type 1 렌즈로 뛰어난 패턴 정확도와 최대 22nm 해상도를 제공합니다. 노출 설정을 조정하는 7축 자동 조정 (auto-tuning) 기능이 장착되어 있어 더 빠르고 정밀한 패턴화 성능을 제공합니다. 스테이지 모션의 속도는 최대 1.2kV, 총 전송 100% 로 최대 800mm/sec에 도달 할 수 있습니다. NSR SF 200은 많은 다른 기능으로 설계되어 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 사이에서 두드러집니다. 효율적인 제조 공정을 위해 고급 foucs-exposure control (FEC) 및 빠른 다중 패스 오버레이 조정이 통합되었습니다. 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 또한 작은 크기, 낮은 전력 소비량 및 신터리스 (sinterless) 모듈식 디자인으로 견고한 내구성을 자랑합니다. NIKON NSR SF200 에는 이미지 인식 시스템 (Image Recognition System) 이 추가되어 시간에 따라 반복 가능한 정확도를 제공합니다. NIKON Synoptics Operating System에서 실행되며 HPFocalOne과 같은 다양한 소프트웨어가 제공됩니다. 사용이 간편한 이 소프트웨어 패키지를 사용하면 노출 시 패턴 정렬 및 오버레이에 대한 활성 모니터링, 데이터 관리 및 분석을 수행할 수 있습니다. NIKON NSR SF 200은 반도체 생산을 능률화하기 위해 설계된 다재다능하고 기술적으로 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 대용량 및 저용량 웨이퍼 (wafer) 애플리케이션에 이상적인 솔루션으로, 매번 우수한 품질과 정확성을 제공합니다.
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