판매용 중고 NIKON NSR SF155 #9311227

NIKON NSR SF155는 높은 생산성과 다양한 마스크 정렬기를 위해 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. MEMS, LED, 센서 등 첨단 장치 생산에 이상적이며, 스테퍼는 다양한 어플리케이션에 탁월한 성능을 제공합니다. NSR SF155에는 최신 NIKON GEN5 리소그래피 소스와 특허를받은 방사형 균일성 제어 장비가 장착되어 있어 높은 정확성과 안정적인 오버레이를 보장합니다. 150mm 마스크 스테이지는 74mm 최대 X 오버랩 범위를 제공하며 전체 8 인치 웨이퍼를 정렬 할 수 있습니다. NIKON 혁신적인 옵티컬 시스템 및 조닝 (zoning) 장치는 웨이퍼를 마스크 정밀도에 -150m 정밀도로 정렬합니다. 스테퍼의 기계적 위치 지정 장치는 나노 미터 수준의 정확도를 가진 최대 150mm 이동 범위를 제공하여 하나의 노출 (exposure) 만으로 기판의 위치 제어를 가능하게합니다. NIKON NSR SF155는 높은 처리량을 위해 설계되었습니다. 한 단계 스캔 프로세스에서 510WPH의 처리량을 달성 할 수있는 빠르고 효율적인 AFSS (NIKON Asymmetrical Frequency Scanning Machine) 가 특징입니다. 스테퍼는 또한 더 높은 해상도에서 모 놀리 식 패턴을 노출시키기 위해 7nm 투구 선이있는 멀티 트랙 필드 조명 (multi-track field illumination) 도구를 갖추고 있습니다. NSR SF155는 안정성과 낮은 유지 관리를 위해 설계되었습니다. 빠른 게이트 밸브 교체 자산은 유지 보수로 인한 다운타임을 줄이는 반면, 특허를받은 초전도체 정적 엘리미네이트 (Eliminate) 모델은 스테퍼의 오염을 줄입니다. 또한 클린 룸 (Clean Room) 상태를 유지하면서 안전한 작동을 보장하기 위해 방사선 차폐 (radiation shielding) 와 fume 대피 장비로 설계되었습니다. 전반적으로 NIKON NSR SF155는 MEMS, LED, 센서 등 고급 장치 생산에서 최적의 성능을 제공하도록 설계된 고급 프로덕션 스테퍼입니다. 속도, 정확도, 유지 보수 비용 (유지 보수 비용) 의 조합으로 운영 라인에 이상적인 선택이 됩니다.