판매용 중고 NIKON NSR SF140 #293589679

NIKON NSR SF140은 반도체 장치 제작에 주로 사용되는 고성능 웨이퍼 스테퍼입니다. 고해상도 스캔 헤드 (scan head), 고급 조명 장비 (advanced luminating equipment) 및 독점 렌즈 시스템 (proprietary lens system) 이 장착되어 있어 다양한 재료 및 기판에서 고정밀 패턴 이미징을위한 이상적인 도구입니다. 본체는 고정밀 스테퍼 이동을위한 이중 단계 XYZ 선형 모터 유닛과 빠르고 정확한 웨이퍼 정렬을위한 XY 척 고정기 (XY chuck fixture machine) 로 구성됩니다. NIKON NSR-SF140은 초고단계 가속과 최소화된 진동을 위한 6축 유연도 아키텍처를 갖추고 있으며, 안정적인 이미징 프로세스를 제공합니다. 표준 스캔 헤드에는 초고해상도 5축 스테이지가 장착되어 있어 6nm (6nm) 크기의 스텝 사이즈로 이미징을 구현할 수 있습니다. 또한, 스캔 헤드 (scan head) 에 위치한 CCD 카메라의 해상도는 26 메가 픽셀 (megapixel) 로 매우 정밀하고 디테일이있는 웨이퍼 이미지를 제공합니다. NSR SF 140은 또한 전체 이미징 필드에 균일 한 BPI (명도/인치) 를 제공하여 기판 처리량을 증가시키는 특수 조명 도구를 갖추고 있습니다. 광학 렌즈 자산은 NA 0.55, 배율 5X-100X 인 여러 개의 탠덤 렌즈로 구성되며, 고밀도 패턴에서도 뛰어난 오버레이 정확도를 제공합니다. 전반적으로 NIKON NSR SF 140은 뛰어난 이미징 결과를 제공하기 위해 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. NSR-SF140 은 혁신적인 스캔 헤드 (Scan Head), 정밀 지향 렌즈 모델 (Precision-Oriented Lens Model) 및 특화된 조명 장비를 결합하여 소형의 사용자 친화적 패키지로 초고해상도 이미징 및 최상위 오버레이 정확도를 제공합니다.