판매용 중고 NIKON NSR SF130 #9391655

NIKON NSR SF130은 집적 회로 (IC) 와 같은 복잡한 마이크로 전자 장치 생산에서 레이어를 패턴화하는 데 필수적인 웨이퍼 스테퍼입니다. 투영 광학과 스테이지의 두 가지 주요 요소로 구성됩니다. 투영 광학 (projection optics) 은 정밀 선형 단계에 장착된 렌즈로 구성되며 이미지를 웨이퍼 서피스에 투영하는 역할을 합니다. 이 투영 광학은 X 방향과 Y 방향으로 움직이는 스테이지에 더 위치합니다. 또한 인코더를 사용하여 스테이지의 움직임을 측정하고 제어 장비에 대한 피드백 (feedback) 을 제공합니다. NIKON NSR-SF130 웨이퍼 스테퍼는 동급 최고의 기능을 사용하여 높은 해상도와 정확성을 보장합니다. NA 0.97 의 우수한 투영 광학 렌즈 시스템 (NA) 을 자랑하며, 이는 높은 선명도와 선형성을 제공하며, 0.75äm 이하의 유효 해상도를 제공합니다. 또한, 이 웨이퍼 스테퍼는 투사 렌즈 (projection lens) 와 웨이퍼 (wafer) 를 모두 위한 견고한 보호 장치와 높고 안정적인 처리량을 위한 대류 냉각 장치를 갖추고 있습니다. NSR SF 130에는 더블 레이 (double-ray) 필드 균일 보정 머신이 장착되어 있어 스테이지의 예상 이미지와 조명점 크기가 모든 위치에서 거의 동일하게 유지됩니다. 또한, 투영 렌즈는 수차를 제거하기 위해 맞춤형 마운팅 안정기 (customed mounting stabilizer) 와 부착되어 웨이퍼 표면에서 완벽한 패턴화를 가능하게합니다. 이 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 높은 정확도와 속도를 위한 웨이퍼 정렬 도구를 제공하여 비용 민감한 생산 환경에 적합합니다. 또한, 다양한 노출 설정으로 인해 이미지 생성기 및 다양한 포토 마스크 (photomask) 와 호환됩니다. 마지막으로, 이 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 높은 처리량을 보장하고 집적 회로의 레이어를 정확하게 패턴화하여 IC 생산의 선두 주자가 됩니다.