판매용 중고 NIKON NSR SF130 #9389330

NIKON NSR SF130은 높은 처리량, 높은 수율, 안정적인 성능을 위해 설계된 고급 완전 자동화 단계 및 반복 석판 장비입니다. SF130은 고해상도 패턴을 실리콘, 쿼츠, 유리, 세라믹 등 다양한 기판에 전달하도록 설계된 전용 웨이퍼 스테퍼입니다. 최대 기판 면적은 200mm x 200mm, 필드 크기는 13mm x 13mm이며, SF130은 다양한 웨이퍼 크기와 마스크 크기를 수용 할 수 있습니다. 이 시스템에는 자동 초점 및 정렬 기능과 고급 투명도 감지 장치 (Advanced Transparency Detection Unit) 가 제공됩니다. SF130 의 이미징 광학은 특수 구조와 고성능 광학을 특징으로하며, 패턴 레이아웃을 정확하고 정확하게 줄일 수 있습니다. 또한 NIKON Super Multi Layer Coating을 사용하여 코팅되는 프로젝션 렌즈를 특징으로하며, 뛰어난 해상도, 명암비 및 레이저 마커블 정확도를 제공합니다. 또한, 노출 제어 기계는 부드러운 노출 균일성과 빠른 전환 시간을 위해 고속 ND 필터를 갖추고 있습니다. SF130 은 주요 구성요소를 모니터링하고 문제를 경고하는 자동 유지 관리 (maintenance) 툴을 통해 가동 시간과 안정성을 최적화할 수 있도록 설계되었습니다. 이 자산에는 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 가 있어 반자동 운영 (semi-auto operation) 을 비롯한 다양한 운영 환경을 손쉽게 구성할 수 있습니다. 또한 사용자 요구 사항에 맞게 조정할 수 있는 다양한 추가 (Additional) 기능과 옵션이 있습니다. 이 모델은 다양한 애플리케이션의 다양한 통신 포트 (Communication Port) 와 데이터 인터페이스 (Data Interface) 를 통해 손쉽게 통합할 수 있습니다. NIKON NSR-SF130에는 낮은 왜곡 광 패턴 감지 헤드 (optical pattern sensing head) 와 대규모 등록 테이블을 사용하는 NIKON 고급 웨이퍼 등록 장비가 함께 제공됩니다. 이렇게 하면 기판 위치의 변경 사항을 추적하고 수정할 수 있습니다. NSR SF 130 은 다양한 애플리케이션의 고품질 마이크로 리토그래피 (micrithography) 를 효율적이고 정확하며 안정적으로 제작할 수 있도록 설계된 첨단 고성능 웨이퍼 스테퍼입니다. 신뢰할 수 있는 옵틱, ND 필터, 자동 유지 관리 장치, 직관적인 사용자 인터페이스, 고급 등록 머신 등을 갖춘 SF130 은 모든 리소그래피 요구 사항을 충족하는 효율적이고 효과적인 솔루션입니다.