판매용 중고 NIKON NSR SF130 #9383073

NIKON NSR SF130은 신뢰할 수 있고 다목적 웨이퍼 스테퍼로, 반도체 제작 전문가들에게 인기있는 선택이되었습니다. 이 단일 필드 스캔 웨이퍼 스테퍼는 직경이 최대 6 인치 인 웨이퍼에 높은 정확도와 고해상도 마이크로 리토 그래피 패턴을 만들 수 있습니다. 그것은 오프 축 조명으로 설계된 통합 NIKON NSR 광학 시스템과, 높은 성능을 보장하고 왜곡을 제거하는 1 단계 catadioptric objective lens를 특징으로합니다. 이 "시스템 '은 작업 면적 이 넓어 더 큰" 기판' 을 처리 할 수 있으며, 완전 한 정렬 으로 최대 8 개 의 "카세트 '의" 웨이퍼' 를 수용 할 수 있다. NIKON NSR-SF130에는 최첨단 구성 요소가 장착되어 있어 마이크로 리토 그래피 프로세스의 정확성과 신뢰성을 보장합니다. 통합 고속 숫자 패턴 생성기는 웨이퍼 포지셔닝을 위해 X, Y 단계를 정확하고 정확하게 제어하여 높은 경제성을 제공합니다. 정밀도 스캔 속도는 최대 20 ° m/sec이며 정확도는 ± 0.25 -m입니다. 이 기계는 더 높은 노출 시간을 허용하는 동시에 빠른 XY 스테이지 (XY Stage) 와 고급 동작 제어 (Motion Control) 를 통합합니다. NSR SF 130 은 사용이 간편한 직관적인 GUI 를 제공합니다. 즉, 사용자는 전체 패턴화 프로세스를 손쉽게 제어하고 모니터링할 수 있습니다. 기능에는 고해상도 이미징 및 노출 패턴 미리보기가 포함됩니다. 또한 핀 홀, 자동 정렬, 가변 포커스 위치, 사용자 정의 패턴의 가변 노출 시간 등을 다양하게 선택할 수 있습니다. NSR-SF130 은 설계 및 고급 기능에서 탁월한 성능을 제공합니다. 마이크로 리토 그래피 응용 프로그램을 위해 신뢰할 수 있고 강력하며 비용 효율적인 도구입니다. 작은 기판의 정밀 패턴 (precision patterning) 과 같은 까다로운 직업과 연구, 프로토 타입 (prototyping), 생산 (production) 을 포함한 일반적인 용도에 적합합니다. 정확하고 첨단 기술을 갖춘 NIKON NSR SF 130 은 다양한 Wafer Fabrication 프로세스를 위한 완벽한 선택입니다.