판매용 중고 NIKON NSR SF130 #9383071

NIKON NSR SF130
ID: 9383071
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2005
i-Line stepper, 12" 2005 vintage.
NIKON NSR SF130은 반도체 제조 공정에 사용되는 고급 웨이퍼 스테퍼 도구입니다. 이 툴은 속도 및 제품 품질에 대한 탁월한 성능을 제공합니다. NIKON NSR-SF130 은 고급 광 정렬 (optical alignment) 기술을 사용하여 다양한 애플리케이션에 대해 매우 정확하고 반복적으로 노출 가능한 웨이퍼를 생성합니다. 이 장비는 가장 복잡한 마이크로칩 (microchip) 구조를 조정하기 위한 고성능 포커싱 시스템을 갖추고 있습니다. 첨단 광학 레이아웃 (Advanced Optical Layout) 은 또한 노출 과정의 유효성을 돕는 다른 각도에서 노출 적용을 허용합니다. NSR SF 130은 효율적인 웨이퍼 노출을 위해 다양한 기능을 제공합니다. 이 장치는 고속 스캔, 높은 노출 정확도, 초고속 스캔 속도, 위치 안정성, 노출 반복 가능성, 동시에 제어 가능한 노출 강도 및 높은 균일성을 제공합니다. 또한 이중 패턴 정렬 기능, Wide-FOV Correlator, 원 샷 풀 존 노출 기능 및 Laser Reflectometer가 장착되어 있습니다. 이러한 기능은 우수한 노출 품질을 보장합니다. 노출 프로세스는 NIKON NSR SF 130 Control Software를 통해 관리되며, 이 소프트웨어는 다양한 종류의 웨이퍼 요구 사항을 충족하기 위해 매개변수 및 노출 시퀀스를 설정하는 다양한 옵션을 제공합니다. 또한 강력한 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 통해 다양한 지원 기능을 제공하여 노출 프로세스를 효과적으로 제어할 수 있습니다. NSR-SF130은 현재 시장에서 가장 발전된 스테퍼 도구 중 하나입니다. 고성능 노출 (HPO) 프로세스는 가장 빠른 속도와 뛰어난 정확도로 일관된 노출 품질을 제공합니다. 정교한 광학 정렬 및 제어 머신 (Control Machine) 은 지속적으로 발전하는 반도체 산업에서 최고의 결과를 제공합니다.
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