판매용 중고 NIKON NSR SF130 #9351292

NIKON NSR SF130
ID: 9351292
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2004
i-Line stepper, 12" 2004 vintage.
NIKON NSR SF130은 고성능 생산성 향상 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장비는 최소한의 수동 개입으로 고정밀 웨이퍼 패턴화를 수행하도록 설계되었습니다. 마이크로 리소그래피 및 의료 장치를 포함한 다양한 응용 분야에 적합합니다. 이 시스템에는 전동식 스테이지, 정밀 옵틱 및 디지털 컨트롤러로 구성된 고급 옵티컬 유닛이 있습니다. 이를 통해 머신의 웨이퍼 (wafer) 를 정확하게 정렬하고 배치할 수 있으며, 패턴화 (patterning) 의 높은 수준의 정확성과 반복 가능성을 얻을 수 있습니다. NIKON NSR-SF130에는 고정밀 디지털 제어 도구도 있습니다. 이를 통해 정확한 패턴화 (patterning) 및 노출 프로세스 제어 (exposure process control) 를 통해 패턴의 품질을 보장할 수 있습니다. 또한 연산자 오류로 인한 실수를 방지합니다. 클로즈드 루프 (closed-loop) 모션 에셋이 포함 된 대형 13 인치 스테이지로, 웨이퍼가 매번 정확하게 배치됩니다. 이 모델은 10cm 또는 13mm 해상도로 고정밀 웨이퍼 패턴화 및 등록이 가능합니다. 또한 초고속 노출 장비가 특징입니다. NSR SF 130 을 사용하면 시간당 최대 150 개의 웨이퍼를 패턴화할 수 있습니다. 이는 대규모 운영 환경뿐만 아니라, 연구/개발 환경에 이상적입니다. 이 시스템은 NIKON MircoNic ™ 및 드라이 에치 (dry-etch) 프로세스에 최적화되어 안정적이고 정확한 웨이퍼 스테퍼가 필요한 엔지니어 및 과학자에게 이상적인 선택입니다. NIKON NSR SF 130에는 자동 정렬 및 마스킹도 장착되어 있습니다. 따라서 "웨이퍼 '를 빠르고 정확하게 패턴화할 수 있으므로 수동 개입의 필요성이 줄어듭니다. NSR SF130 은 다양한 용도로 탁월한 선택으로, 사용자 입력이 최소화되어 정확하고 안정적인 웨이퍼 (wafer) 패턴을 제공합니다. 첨단 옵틱 (Optic) 과 정확한 디지털 제어 기능을 통해 연구 개발, 생산, 대용량 워크로드 (Workload) 를 손쉽게 처리할 수 있습니다.
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