판매용 중고 NIKON NSR SF130 #9247821

NIKON NSR SF130은 반도체 장치 생산에 사용되는 고정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 높은 정확도의 정렬 및 해상도 기능으로 프로세스 생산량을 극대화하는 한편, 탁월한 제품 품질과 낮은 TCO (소유 비용) 를 제공합니다. NIKON NSR-SF130은 NIKON NEXACT 시리즈 웨이퍼 스테퍼의 중요한 부분이며 활성 전자 부품, 박막 트랜지스터, CIS, RESIST 및 CCD 영역을 포함한 다양한 전자 부품 생산에 사용됩니다. NSR SF 130 의 최대 해상도는 0.9 nm 이므로 디바이스 정렬 및 처리가 매우 정확합니다. 이는 또한 높은 처리율을 허용하여 기계를 대규모 생산에 이상적입니다. 기계의 동력 스테이지는 최대 400mm/s 선형 속도와 0.25 mm 위치 정밀도로 150mm/s 피크 가속이 가능합니다. 이렇게 하면 가공소재에서 마이크로디비스를 빠르고 정확하게 배치할 수 있습니다. 또한, 이 기계는 뛰어난 진동 댐핑 특성을 통해 부드럽고 안정적인 웨이퍼 처리를 보장하기 위해 고정밀 PBS (Polymer Bearings Stage) 를 갖추고 있으므로 웨이퍼 정렬을 보다 효과적으로 제어할 수 있습니다. 고급 옵틱은 또한 뛰어난 이미지 품질을 제공하며, 높은 수준의 재현성을 제공합니다. AFAS (Advanced Focus Algorithm System) 는 포커스 설정을 미리 정해진 수준으로 조정하고 원하는 그림에 따라 조정을 하며, 이를 통해 포커스 조정 시간을 줄일 수 있습니다. NIKON NSR SF 130은 또한 클린 룸 호환 커버링 (cleanroom-compatible covering) 을 특징으로하며, 이 시스템은 높은 정확도와 오염이 없는 머시닝 및 레이저 처리에 적합합니다. 또한 이 머신에는 웨이퍼 정렬 센서 (wafer alignment sensor) 와 통합 스캔 처리 (integrated scan processing) 가 포함되어 있어 프로덕션 라인에 직접 통합될 수 있습니다. 또한 기계에는 빔 투 빔 (beam-to-beam) 이중화 및 서브 미크론 정렬 기능이 포함되어 있어 생산 수율이 향상됩니다. 전반적으로 NSR-SF130 은 매우 정확하고 신뢰할 수 있는 웨이퍼 (wafer) 스테퍼 (stepper) 로서 높은 처리율로 뛰어난 디바이스 품질을 제공합니다. 고해상도 정렬 (Alignment) 및 해상도 (Resolution) 기능은 사용 편의성과 빠른 설정 시간을 보장하는 반면, 진동 감쇠 특성과 통합 스캐닝 기능은 기능을 더욱 향상시켜 반도체 생산 설비에 매우 소중하고 중요한 기능을 제공합니다.