판매용 중고 NIKON NSR SF130 #9244051

NIKON NSR SF130은 반도체 리소그래피에 사용되는 고성능 웨이퍼 스테퍼입니다. 반도체 소자의 대용량 생산에 이상적이다. 반도체 소자 생산은 "지속 시간 '에 한결같이 작용할 수 있기 때문이다. 스테퍼는 0.6 ~ 5.6 마이크로미터 해상도의 NC (Numeric Condenser) 렌즈를 사용하여 작동합니다. 반복 가능한 정확도는 +/- 4nm이고 선형 속도 정확도는 +/- 0.004mm입니다. 또한 처리량이 높은 어플리케이션의 정확성을 유지하기 위해 부드럽고, 지연 없는 (lag-free) 드라이브 장비를 갖추고 있습니다. NIKON NSR-SF130은 상단 및 하단 헤드 시스템과 함께 스윙 암 (swing arm) 정렬 방법을 사용하여 설계되었습니다. 이것은 흔들림 (wobling) 과 진동 (vibration) 으로 인해 발생할 수있는 기계적 응력을 줄이면서 안정성을 제공합니다. 공정의 각 단계는 레이저 빔 (laser beam) 으로 제어되며, 이는 높은 수준의 정밀도를 보장합니다. 스테퍼에는 NIKON CMOS 센서와 고급 데이터 처리 장치도 있습니다. 이를 통해 노출 데이터 및 전체 웨이퍼 분석에 대한 실시간 피드백을 제공할 수 있습니다. 이 기계는 자동 포커싱 (auto focusing) 도 가능하며, 이는 이미지가 선명하고 잘 정의되어 있는지 확인하는 데 도움이됩니다. 스테퍼에는 NIKON Dimsite Management Software도 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 사용자는 시스템 설정을 관리하기 위한 직관적인 인터페이스 (interface) 와 일관된 결과를 위한 레시피 (recipe) 를 얻을 수 있습니다. 또한 이 도구는 파일 저장 및 편집 기능을 제공합니다. NSR SF 130은 성능을 향상시키기 위해 수동 냉각 자산을 제공합니다. 자가 조정 플래튼 (platen) 에 의해 보완되어 높은 수준의 안정성과 정확성을 보장합니다. 스테퍼에는 자동 조명 모델, 다양한 정렬 센서 (alignment sensor) 와 같은 다양한 다른 제품도 있습니다. 전반적으로 NSR SF130은 반도체 대량 생산을위한 훌륭한 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 제품은 운영 프로세스의 정확성과 신뢰성을 보장하는 데 도움이 되는 다양한 기능 (영문) 과 함께 제공되며, 직관적인 소프트웨어 (software) 를 통해 시스템을 쉽게 작동할 수 있습니다.