판매용 중고 NIKON NSR SF130 #9243127

NIKON NSR SF130 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 다양한 반도체 장치 제조 처리 어플리케이션을 위한 성능 기능을 갖춘 고정밀 초고속 석판화 장비입니다. 이 시스템은 광범위한 동적 범위에 걸쳐 50nm 이하의 해상도를 제공할 수 있으며, 프로세스 비용이 최적화된 고성능, 고밀도 장치를 생산할 수 있습니다. 이 제품은 패턴 웨이퍼 (pattered wafer) 에 대한 최고 품질의 이미징을 제공하며, 처리량과 생산성을 높여 생산성을 높일 수 있습니다. NIKON NSR-SF130은 매우 높은 처리량을 제공하며, 단일 재료의 경우 시간당 최대 5,000 웨이퍼, 여러 재료의 경우 시간당 최대 8,000 웨이퍼를 제공합니다. 또한 고속 ND 정렬 및 노출을 제공하며, 한 번에 여러 웨이퍼 정렬을 수행할 수 있습니다. 이 장치는 고속 (High-Speed) 데이터 획득을 통해 노출 설정 및 프로세스 최적화 설정을 조정하여 운영 성능을 실시간으로 최적화합니다. NIST QDMSA (Quantum Deflection Multiple Subfield Algorithm) 는 이미지 처리 성능을 최적화하는 반면, AutoMatch Imaging Technology는 정렬 시간을 줄이고 높은 정밀도 웨이퍼 스티칭을 제공합니다. 이 스테퍼는 가변 선 너비 기능을 제공하며 오버행 (overhang) 및 다양한 선 각도 작업 (overhang) 을 지원하여 어려운 3D 영역에서도 패턴을 정확하게 배치할 수 있습니다. 이 기계는 또한 초고해상도 NGREELEX (초고해상도 NGREELEX) 를 갖추고 있어 최첨단 견고성을 제거하고 고성능, 초고해상도 장치를 생산할 수 있습니다. NSR SF 130 은 장기간 운영할 수 있도록 우수하고 안정적인 운영 성능을 제공하며, 장기간 지속되는 운영 중단 방지 (Anti-contamination) 구성을 제공합니다. 디지털 서보 제어를 통해 진동을 최소화하면서 빠르고, 정확하게 정렬하고, 노출할 수 있습니다. 이 도구에는 초점, 용량, 노출 설정 등 패턴 기반 성능의 통합 운영 및 모니터링을위한 NIKON Smart Chip 기술도 포함되어 있습니다. NSR SF130 자산은 반도체 대용량 생산 라인에 사용하기에 이상적이며, 반도체 디바이스 개발의 요구와 복잡성 증가를 충족시키는 혁신적인 솔루션을 통해 탁월한 성능을 제공합니다 (영문).