판매용 중고 NIKON NSR SF130 #9237550

NIKON NSR SF130은 두꺼운 웨이퍼 및 평면 패널 디스플레이에 대한 고급 검토를 위한 다중 필드, 고정밀 D2D (Die-to-Die) 스테퍼입니다. NIKON NSR-SF130은 고급 12 mag 및 15 mag 듀얼, 멀티 필드 렌즈를 갖추고 있으므로 까다로운 사진 촬영 어플리케이션을 위한 뛰어난 이미징 성능을 제공합니다. 이 장비는 75mm x 75mm 이미징 영역 내의 모든 지점에 단일 패턴 필드를 노출시킬 수 있으며, 2 초 내에 두 세트 필드 사이를 전환할 수 있습니다. 고속 스텝 및 스캔 모드를 선택하면 시간당 3 ~ 6 개의 웨이퍼를 배치 할 수 있으며 1/3 감소 영역으로 8 인치 또는 12 인치 웨이퍼 크기를 지원할 수 있습니다. 이 시스템은 선형 인코더, 포커스 (focus) 및 플라이 (on-the-fly) 전진 (forward) 스캔 제어로 미세 정렬 정확성을 제공합니다. 또한, 보다 뛰어난 오버레이 정렬 정확성을 보장하고, 잘못된 정렬 위험을 줄이기 위한 자동 정렬 장치 (automated alignment unit) 를 갖추고 있습니다. 이 기계는 또한 선형 모터가 장착 된 고정밀 단계 (high-precision stage) 와 이미징 정확도를 향상시키기 위해 온도 조절 환경을 통합합니다. NSR SF 130에는 기판 슬립 예방을위한 진공 척 (vacuum chuck) 과 고정 장치 (retainer) 가 있으며, 이를 통해 웨이퍼 주변에서 포토 마스크를 정확하게 노출하고 전송 할 수 있습니다. 이 도구는 또한 화학적으로 증폭되고 열산화물 (thermal oxide) 과 같은 다양한 유형의 광 소제를 사용할 수 있으며, 전이하는 동안 웨이퍼 오염을 예방합니다. NIKON NSR SF 130에는 비상 정지 버튼, 원터치 리셋, 자동 복구 기능, 자동 종료 기능 등 여러 가지 강력한 안전 기능이 있습니다. 이 자산은 유지 보수가 낮고, 작동이 간편한 제어 모델을 사용하여 빠른 킥스타트 (kick-start), 간단한 유지 보수, 입력 추적 기능으로 인한 다운타임 감소 등을 실현합니다. NSR-SF130 은 고급 Optic 과 혁신적인 설계를 결합하여 최대의 프로세스 제어 기능과 효율적인 Wafer 처리 장비를 제공합니다. 이 스테퍼 (stepper) 는 종합적인 정렬 및 발광 감지 (Light Leakage Detection) 와 같은 고급 기능을 활용하며, 단단한 정밀도 및 단일 웨이퍼 노출 기능을 통해 높은 수준의 생산 수율을 달성합니다. NSR SF130 은 현재 업계 선두 기업으로, 반도체 및 평면 패널 디스플레이 제조, 생명 과학 연구, 정밀 이미징 (precision imaging) 분야 등 다양한 분야에서 애플리케이션을 제공하고 있습니다.