판매용 중고 NIKON NSR SF130 #9191890
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ID: 9191890
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2005
i-Line stepper, 8"
Main computer:
System: DS10
Hard disk: DKA0, DKA100
Disk drive: CD ROM, Floppy disk
Illumination type: RET (Resolution enhancement technology)
Conv: σ = 0.7
2/3Wheel band: σ = 0.8
Small σ: σ = 0.4
1/2 Wheel band
IN σ: (SF100 Interchangeable, small σ)
Reticle microscope: Movable
Wafer alignment: FIA, LSA
Auto focus: Normal
Wafer loader: OF
Type 3 robot
Cassette
Control rack position: Right (Body and one body type)
Reticle loader: 6" Normal
PPD
Bar code reader
Control temperature
Chamber type
Unit version:
OPD: A1v1.50
Wafer loader: 62V5.20
Reticle loader: 20V2.00
Wafer stage: ST10PV1.40
Wafer alignment: 83V5.10
Reticle alignment: 83V5.10
Lens controller: 10V0507
PI
Power: 5.0 kW
Currently warehoused
2005 vintage.
NIKON NSR SF130은 전자 산업에서 인기있는 고성능 웨이퍼 스테퍼입니다. NSR-S301A 스캐너 미러와 링 필드 (ringfield) 유형의 옵틱 (optic) 을 통해 저렴한 비용으로 뛰어난 성능을 제공하는 뛰어난 화질을 제공합니다. NSR-S301A 미러는 Dual AXIS Stochastic Scanners에 의해 구동되므로 장비의 효율성이 높고 응답성이 높습니다. 이 기계는 또한 높은 수치 조리개 시스템 (aperture system) 을 가지고 있으며, 이미징 파워를 희생하지 않고 스테퍼에 더 많은 렌즈를 사용할 수 있습니다. 이 장치는 뛰어난 3D 이미지와 고해상도를 제공합니다. NIKON NSR-SF130에는 초고정밀 스핀들, 인체 공학적 디자인 및 업계 최고의 사용자 인터페이스가 있습니다. 스핀들은 40 미크론 너비의 나노 포커스를 가지고 있으며 0.09 미크론의 이미지 해상도를 만들 수 있습니다. 기계의 고정밀 정렬 (high-precision alignment) 기술을 통해 사용자는 스테퍼의 위치를 쉽고 정확하게 조정하고 노출 설정을 빠르게 변경할 수 있습니다. 이 도구는 인체 공학적 설계 (ergonomic design) 를 가지고 있으며, 자산이 오랜 근무 시간을 견딜 수 있고, 가혹한 상황에서 신뢰할 수 있도록 최신 현대 기술을 갖추고 있습니다. NSR SF 130 용 사용자 인터페이스는 매우 사용자 친화적이며 직관적입니다. HSE (Hyper Smart Exposure) 는 사용자가 애플리케이션에 가장 적합한 노출을 쉽게 선택할 수 있도록 해주는 독보적인 기능입니다. 스테퍼는 또한 자동 초점 (auto focus) 을 특징으로하며, 초점 필드 (focus field) 와 펄스 위상 변조 (pulse phase modulation) 에 가장 적합한 위치를 빠르게 찾아 더 빠른 노출 시간과 더 높은 이미지 품질을 제공합니다. 또한, 모델을 사용하면 이미지 회전, 이미지 보상 및 이미지 번들링도 가능합니다. 전반적으로 NSR SF130은 뛰어난 wafer 스테퍼로 뛰어난 3D 이미지와 뛰어난 해상도를 만들 수 있습니다. 인체 공학적 디자인과 직관적 인 사용자 인터페이스 (user interface) 가 있어 사용하기 쉽습니다. 정밀도가 높은 스핀들 (spindle) 을 사용하면 노출 시간을 낮게 유지하면서 이미지 품질을 향상시킬 수 있습니다. 그리고 자동 초점 (auto focus) 과 펄스 위상 변조 (pulse phase modulation) 를 통해 사용자는 응용 프로그램을 크게 제어합니다. 이 모든 기능을 통해 NIKON NSR SF 130은 모든 전자 산업을위한 훌륭한 도구입니다.
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