판매용 중고 NIKON NSR SF130 #293655222

ID: 293655222
i-Line steppers.
NIKON SF130은 반도체 웨이퍼 제조에 사용되는 중급 웨이퍼 스테퍼입니다. 칩 생산, 포토 마스크 생산, 고급 장치 포장에 널리 사용되는 유명한 생산 장비입니다. NIKON SF 130의 표준 스캔 필드 크기는 5.9 인치 (150) mm이거나 최대 4.95 마이크로 미터로 측정됩니다. 전체 스캔 필드에 걸쳐 높은 수준의 노출 필드 크기 (Exposure Field Size), 평면도 (Flatness) 및 해상도 (Resolution) 를 제공합니다. 25mm 왜곡 보정 및 10mm 자동 초점 기능이 있으므로 웨이퍼의 정확하고 안정적인 광학 스캐닝이 가능합니다. SF130은 고속 Linac을 갖춘 스텝 앤 스캔 시스템입니다. 그 소스는 532 nm의 파장을 가진 크립톤 (Kr) 이온 레이저이다. 레이저는 다양한 전원 수준을 가지고 있으며 최대 100 um/Sec 또는 최대 20 X/s까지 스캔 할 수 있습니다. 28.5kV 전원 공급 장치를 장착하여 높은 정확도와 고해상도 이미징을 제공합니다. 또한, 스테퍼가 동시에 각 개별 레이어에 정확하게 집중할 수있는 초정밀 간섭 자동 초점 시스템 (ultra-precise interferometric autofocus system) 이 장착되어 있습니다. SF 130은 표준 기능 외에도 4X3X3M 해상도 (4X3X3M 해상도) 와 광시야각 (광시야각) 을 갖춘 고가용성 광원을 통합하여 일관된 광출력을 제공합니다. 또한, 고급 장치 패키징을위한 I 라인 기능뿐만 아니라 ArF 리소그래피를위한 다양한 180nm DUV 옵션을 제공 할 수 있습니다. 또한, 이 시스템은 뛰어난 5주기/시간 처리량을 제공하며, 단일 작업에서 최대 200개의 용량 (dose) 레벨을 실행할 수 있습니다. 요약하면, NIKON SF130은 칩 생산, 포토 마스크 생산 및 고급 장치 포장에 널리 사용되는, 신뢰성이 높고 유능한 웨이퍼 스테퍼입니다. 5.9 인치, 25mm 왜곡 수정, 10mm 자동 초점 기능, 크립톤 이온 레이저, 28.5kV 전원 공급 장치, 4X3X3M 해상도 및 광시야의 최대 스캔 필드 크기를 제공합니다. 또한 다양한 180nm DUV 옵션을 제공 할 수 있으며 인상적인 5 사이클/시간 처리량을 가지고 있습니다.
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