판매용 중고 NIKON NSR SF130 #293589675

NIKON NSR SF130
ID: 293589675
빈티지: 2005
i-Line stepper 2005 vintage.
NIKON NSR SF130 은 가장 효율적인 방법으로 최고의 품질의 반도체 디바이스를 생산하도록 특별히 설계된 자동 웨이퍼 스테퍼입니다. 최신 옵티컬 테크놀로지 (Optical Technology) 와 메카닉 (Mechanics) 을 결합한 제품으로, 최고의 샷 기능과 일관된 결과를 제공합니다. SF130 은 2 개의 콘덴서 렌즈로 구성된 광원 (light source) 을 갖추고 있어 매우 효율적인 출력을 제공합니다. 이 장비에는 또한 셔터가있는 할로겐 램프 (halogen lamp) 가 포함되어 있으며, 시스템에 균일 한 조명을 제공합니다. 스테퍼의 프로젝터 렌즈는 4 "-8" 웨이퍼의 범위에서 4.6 "m 샷 정확도를 허용합니다. 또한 NIKON NSR-SF130에는 1축 스테이지와 수동 웨이퍼 로드가 포함되어 있습니다. 그것 은 강성 과 평평 한 정확도 를 위해 특별 히 설계 된 "웨이퍼 '척 (wafer chuck) 과 회전 작동기 가 없는 자동 정렬 장치 (automatic alignment unit) 를 가지고 있어서, 기판 의 재료 를 쌓거나 긁는 일 을 제거 한다. 특허받은 SF130 의 화합물 광학 기계 (compound optical machine) 는 미크론 수준에서 패턴의 이미징 정확성과 재생산을 가능하게한다. 스테퍼의 화면 곡률 (screen curvature) 은 템플릿과 동일하게 설계되어 프레임 샷을 쉽게 만들 수 있습니다. 모양과 패턴의 투영에서 높은 명암을 활용하고, 노출 필드가 균일하여, 이미지 높이가 높은 고정밀도 (High-Precision) 이미지를 생성할 수 있습니다. 또한, 스테퍼는 최적화된 이미지 해상도에 자동 초점 (autofocus) 을 제공하여 다양한 기판 크기에 걸친 저항을 낮출 수 있습니다. 또한 NSR SF 130 은 향상된 진단 기능을 갖춘 업데이트된 사용자 친화적 그래픽 인터페이스를 제공합니다. 스테퍼는 능률적인 교정 방법, 유지 보수 용이성 및 전자 제품 수용을 제공합니다. 여기에는 높은 정확도로 높은 처리량을 가능하게 하는 고급 컨트롤러가 포함되어 있습니다. 전반적으로 NIKON NSR SF 130은 매우 효율적이고 고급 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 로, 최고의 반도체 장치를 패턴화하는 경제적인 도구를 제공합니다.
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