판매용 중고 NIKON NSR SF120 #9361374

NIKON NSR SF120은 완전하게 자동화된 웨이퍼 스테퍼로, 정교한 웨이퍼 처리 요구를 위해 특별히 설계되었습니다. 이 스테퍼 (stepper) 는 여러 웨이퍼 수준에서 정확한 오버레이 정확성을 보장하는 뛰어난 패턴 정렬 장비 (Superior Pattern Alignment Equipment) 와 같은 다양한 기능을 제공합니다. 5 축 동작 시스템은 또한 안정성을 높이기 위해 최소 진동으로 정확한 웨이퍼 이동을 보장합니다. NIKON NSR-SF120은 또한 뛰어난 웨이퍼 표면 충실도와 향상된 성능을 제공하는 고정밀 렌즈 장치를 제공합니다. 고급 소프트웨어 및 광학 (optic) 기능으로 뛰어난 에지 감지 및 선명도를 보장합니다. NSR SF 120은 대부분의 웨이퍼 모양과 크기를 수용 할 수있는 큰 6 인치 시야를 특징으로합니다. 고해상도 10 메가 픽셀 카메라는 전체 웨이퍼 표면에서 정확하고 반복 가능한 웨이퍼 증착 프로세스를 위해 뛰어난 이미지 처리 기능을 제공합니다. 자동 웨이퍼 조정기 (Automatic Wafer calibration Machine) 는 각 제품에 대한 최적의 노출 매개변수를 설정하여 사용자 입력을 줄이는 데 도움이 됩니다. 이렇게 하면 모든 증착 과정 이 최적 의 정밀도 로, 수작업 (manual control) 을 할 필요 가 없이 수행 되는 데 도움 이 됩니다. 이 스테퍼에는 기판 잘못 정렬 보상, 결함 패턴 식별 (defect pattern identification), 스테퍼의 품질 및 반복 성을 향상시키기 위한 웨이퍼 레벨 오버레이 미리보기 (wafer-level overlay preview) 등 웨이퍼 처리를 향상시키기 위해 다양한 기능이 장착되어 있습니다. NSR SF120 은 또한 이상적인 온도 제어를 통해 웨이퍼 처리에 가장 적합한 조건을 유지합니다. 고정밀도 압력 챔버 (pressure chamber) 를 사용하여 웨이퍼 표면의 온도 드리프트, 습도 및 오염 수준을 제어합니다. 공기제트 스테이지 냉각 기술도 디포 중에 사용됩니다