판매용 중고 NIKON NSR SF120 #9351366

NIKON NSR SF120
ID: 9351366
i-Line stepper.
NIKON NSR SF120은 표준 200mm 웨이퍼 생산 단계에 맞는 웨이퍼 스테퍼 머신입니다. 하이엔드 반도체 생산을 위해 설계된 NIKON NSR-SF120 은 합리적인 가격으로 탁월한 성능과 고급 기능을 제공합니다. NSR SF 120은 4축 설계를 통해 X, Y 및 Z축 단계를 통해 정렬 및 노출 과정에서 웨이퍼를 이동합니다. NSR SF120의 높은 동적 응답과 고정밀 인코더는 더 높은 프로세스 정확도에 기여하며, 확장 된 X축 범위를 통해 최대 16 개의 8 인치 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. NSR-SF120은 10 배, E 필드, NA2.4 옵티컬 렌즈를 갖추고 있으며, 정확성을 희생하지 않고 더 빠른 정렬을 제공하는 고급 정렬 장비와 함께 제공됩니다. NIKON NSR SF 120에는 진동을 줄이고 뛰어난 프로세스 안정성을 보장하는 고급 저소음 작동기가 포함되어 있습니다. 고급 정렬 시스템은 자동으로 렌즈의 초점을 조정하여 난시를 줄입니다. NIKON NSR SF120은 자동 밝기 제어, 자동 웨이퍼 로드 정렬, 고급 코팅 및 필름 자동화를 제공합니다. 고급 프로그래밍 가능한 프로세싱을 통해 NIKON NSR-SF120은 웨이퍼 로딩 및 코팅, 웨이퍼 에지 노출, 포토 마스크 삽입, 정렬, 노출 및 기타 프로세스 등 다양한 생산 단계와 프로세스를 자동화할 수 있습니다. NSR SF 120은 패턴 인식 기능으로 시간을 절약하고 정확성을 향상시킬 수도 있습니다. 또한 NSR SF120 에는 고급 웨이퍼 처리 장치가 포함되어 있습니다. 자동 처리 장치 (automated handling machine) 는 공기 베어링 (air-bearing) 기술을 사용하여 정렬 단계에서 다음 단계로 직접 웨이퍼를 전송하여 처리 주기가 빨라집니다. 최대 16 개의 8 인치 웨이퍼를 처리하는 능력 덕분에, 이 자동화된 도구는 다운타임을 줄이고 처리량을 향상시킵니다. 또한 NSR-SF120 은 수명이 긴 모터 및 컨트롤러로 탁월한 성능과 향상된 속도를 제공합니다. 유연한 아키텍처와 고급 기능을 갖춘 NIKON NSR SF 120은 반도체 웨이퍼의 하이엔드 생산에 적합합니다. 최대 데이터 처리량은 150kHz이며, 게임 속도는 최대 68kHz에 도달할 수 있습니다. NIKON NSR SF120 의 표준 기능에는 여러 MTF 및 기타 이미지 처리 기능도 포함됩니다. 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 저조도 조건이 감지되면 처리를 중단시켜 우수한 결과를 얻을 수있는 자동 일시 중지 (auto-suspend) 기능을 제공합니다.
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