판매용 중고 NIKON NSR SF120 #9310946
URL이 복사되었습니다!
ID: 9310946
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2003
i-Line stepper, 12"
SMIF Type: OHT
WL In-line (FOUP: Front In-line)
Signal tower: (3) Colors
Right and left chamber
Temperature controller
Lamp cooling unit
Back side frame
(2) Lamp houses / Loader rails
Top chamber
Control panel
(3) Boxes
Automation online component: SECE
Aperture INA: 0.45
Focus system: Multi focus
Leveling system: Table
Main body:
Magnification: 1/4 Reduction
Light source: 365 nm
Resolution: 0.28 µm
Variable lens: 0.50 to 0.62 nA
Exposure filed size: 25 x 33 mm
Lens adjustment:
(5) PIEZO: 3 Axis
Lens cloudiness: Lemon skin filter
PC System hardware:
Type: DS10
Y2K Completion
No UPS system
Reticle size, 6"
Variable reticle microscope
Alignment sensor:
LSA
FIA
AIS
No LIA
Illumination interferometer system:
Mercury ARC lamp: 5 kW
Wafer stage
Reticle stage
Wafer loader, 12"
Type 3
Port number: 1
Notch type
Hold type: Ping type
Cassette
Front in-line (EFEM)
Pre-align type: NC PRE2
No edge exposure
Reticle loader:
SMIF Type (OHT)
Library / Slot: (2) Indexes
Barder reader
Particle checker: PPD2
Library: Center
Control rack:
Type: Right
Cable length: Normal
s52 Chamber:
Type: Sendai chamber
Single
BATC / CATC / LLTC: 23°
Power supply: 208 V, 60 Hz, 3 Phase
Missing parts:
(4) ALG-AF Control PCB
FIA-AF Control PCB
2003 vintage.
NIKON NSR SF120은 소형, 고해상도 장치의 고급 포토 마스크 제작을 위해 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 나노 이미징 (Nano Imaging) 에 사용되며 저항이 적은 고품질 포토마스크 (Photomask), 결함 수준 및 처리량이 높은 고품질 포토마스크 (Photomask) 를 만들 수 있습니다. NIKON NSR-SF120은 단일 또는 5 레이어 마스크에 적합한 고해상도 이미징을 위해 4인치 (100mm) 마스크 필드 크기의 SOS (Stepper Optics Equipment) 를 갖추고 있습니다. 광학에는 나노 스케일 이미징의 경우 0.1 um 정확도와 0.02 um 해상도의 6 축 정렬도 포함됩니다. 또한, 웨이퍼 스테퍼는 자동 웨이퍼 이동 탐지를 위해 1.4 메가 픽셀 해상도 CCD 카메라를 사용하는 정렬 시스템과 추가 광학 안정성을 위해 환경에서 낮은 수준의 진동을 감지 할 수있는 3 축 진동 감지 장치 (3 축) 를 갖추고 있습니다. 웨이퍼 스테퍼에는 최첨단 계산 알고리즘을 사용하여 높은 처리량을 최적화하는 CPCS (Complete Process Control Machine) 도 포함되어 있습니다. CPCS (CPCS) 를 사용하면 최적의 마스크 제작을 위해 노출 프로세스를 실시간으로 모니터링하고 조정할 수 있습니다. 또한 NSR SF 120에는 안정적이고 효율적인 포토마스크 패턴 패턴화를 위한 AVI (AutoVision Interface) 하위 도구가 포함되어 있습니다. AVI는 고급 광학 지형 (optical topography) 및 형상 측정 기술을 통해 향상된 패턴 전송 정확도와 자동화를 제공합니다. 웨이퍼 스테퍼는 또한 확장 PC 제어 웨이퍼 조작 인터페이스 (확장 PC 제어 웨이퍼 조작 인터페이스) 를 제공하여 사용자가 웨이퍼 위치를 빠르게 설정, 확인 또는 조정할 수 있습니다. 신뢰성 측면에서 NIKON NSR SF 120은 고급 냉각 에셋과 견고한 기계적/환경적 보호 (mechanical/environmental protection) 기능을 통해 탄력적이고 내구성이 뛰어납니다. 또한 wafer stepper (웨이퍼 스테퍼) 를 사용하면 자동화된 wafer 정렬 및 exchange 기능으로 인해 다른 기판 사이를 쉽게 전환 할 수 있습니다. 스테퍼의 빠른 웨이퍼 로드 시간은 60 초이며 처리 시간은 4 "(100mm) 마스크 필드 크기에 대해 90 초입니다. 마지막으로, NSR-SF120 은 사용자 친화적인 유지 보수 기능과 사용자 지정 가능한 작업 버튼을 제공하여 최적의 성능을 제공합니다.
아직 리뷰가 없습니다